중고 웨이퍼 핸들러 판매용
웨이퍼 핸들러 (wafer handling robot) 또는 자동 웨이퍼 처리 시스템 (automated wafer handling system) 이라고도 하는 웨이퍼 핸들러는 반도체 업계에서 사용되는 필수 장비입니다. 이러 한 "시스템 '들 은 반도체 제조 공정 의 여러 단계 에 걸쳐" 웨이퍼' 를 섬세 하게 만들기 위해 설계 되었다. 웨이퍼 핸들러의 주요 기능 중 하나는 카세트나 FOUP (Front Opening Unified Pod) 와 같은 다양한 유형의 캐리어에서 웨이퍼를 로드하고 언로드하는 기능입니다. 이것 은 "웨이퍼 '에 손상 될 위험성 을 최소화 하기 위하여 극히 정밀 하게 행해진다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer handler) 는 특수 엔드 이펙터가있는 로봇 암을 사용하여 웨이퍼를 안전하게 고정하고 조작합니다. 웨이퍼 핸들러는 또한 웨이퍼 검사 및 도량형 과정에서 중요한 역할을합니다. 이들은 자동 광학 검사 (AOI) 시스템 또는 주사 전자 현미경 (SEM) 과 같은 검사 스테이션 및 측정 도구에 웨이퍼를 전달하는 데 사용됩니다. 핸들러 (handler) 는 웨이퍼의 정확한 위치를 보장하여 정확한 측정 및 결함 감지를 허용합니다. 이러한 시스템에는 웨이퍼 처리 외에도 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 기능 및 RFID 추적 (RFID tracking) 과 같은 고급 기능이 종종 장착됩니다. 이러한 기능은 각 웨이퍼 (wafer) 의 위치와 기록을 추적하는 데 도움이 되며, 제조 공정을 보다 효율적으로 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 반도체 업계에서 중요한 구성 요소이며, 웨이퍼 처리 프로세스의 자동화 및 효율성을 가능하게합니다. 이들의 정확성, 신뢰성, 고급 (Advanced) 기능은 고품질 칩 생산에 기여하며, 웨이퍼에 대한 손상 또는 오염 위험을 최소화합니다.
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