판매용 중고 LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod #293646584
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod는 기판에서 박막 증착을 용이하게하도록 설계된 플라즈마 원자로입니다. 고도의 RF (Advanced Radio Frequency) 플라즈마 제너레이터 (Plasma Generator) 와 박막 형성에 적합한 환경을 가능하게 하는 강력한 진공 시스템을 사용하는 혁신적인 장비입니다. 질화 규소, 이산화규소 또는 기타 유사한 필름과 같은 물질의 증착에 적합하다. C3 Altus Ice Mod는 강력한 인버터 기반 전원을 사용하여 공정 가스를 활성화합니다. 이 "가스 '는" 가스' 조절 장치 를 통해 유입 되는데, 이 장치 는 원자 가 되어 반응 을 일으키며, 또한 "플라즈마 '가 생성 된다. 그런 다음, 이 "플라즈마 '는 증착실 로 옮겨져 기판 에 도착 하기 전 에" 플라즈마' 우성 영역 을 통과 한다. 최적의 증착을 위해, 플라즈마 가스가 빠르게 펄스되어 기판 표면에 균일 한 분포를 가능하게한다. 또한 Altus ICE Mod는 0-4000Hz의 작동 범위를 제공하여 최적의 재스퍼터링 (sputtering) 을 가능하게하고 재료 강착 속도를 높이고 표면의 균일성을 향상시킵니다. 이 기능은 전체 증착 프로세스의 비용을 줄이는 데 도움이됩니다. Altus ICE Mod에는 듀얼 챔버 옵틱 (dual chamber optics) 이 있으며 사용자는 증착과 플라즈마 공정을 모두 모니터링 할 수 있습니다. 이를 통해 증착 과정에서 발생할 수 있는 모든 문제를 파악하고 적절한 시정 (corrective) 조치를 취할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 또한 증착실 (deposition chamber) 의 압력을 모니터링하여 프로세스가 최적의 마크를 충족하도록 지원하는 내장 펌핑 (pumping) 도구를 갖추고 있습니다. 전반적으로, LAM RESEARCH C3 Altus Ice Mod는 최신 RF 플라즈마 발전기 기술을 특징으로하는 고도의 플라즈마 원자로 자산으로, 사용자가 다양한 기판에 고품질 박막 (thin film) 을 효과적으로 입금 할 수 있습니다. 최적 소재 증착을위한 듀얼 챔버 옵틱 (dual chamber optics) 과 최적화된 압력에 대한 펌프 제어 (pump control) 외에도 높은 작동 속도와 전력을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다