판매용 중고 HMI eScan 315 #9204651

ID: 9204651
E-Beam inspection system (2) TDK TAS300 E4 Load ports BROOKS AUTOMATION ABM407B-1-S-CE-S293 Robot BROOKS AUTOMATION PRE-300BU-I-CE-S2 Pre-aligner BROOKS AUTOMATION SC81-CE Controller HMI System controller.
HMI eScan 315는 HMI에서 제조 한 자동 웨이퍼 및 마스크 검사 장비로, 패턴화 된 웨이퍼 및 포토 마스크 검사 프로세스를 위한 비용 효율적인 솔루션을 위해 설계되었습니다. 독점 PAT-FINDER 이미지 프로세서로 구동되는 이 시스템은 3 채널 컬러 CCD 카메라를 사용하여 스캔당 최대 143 개의 웨이퍼 또는 마스크에서 이미지를 정확하게 캡처합니다. 이를 통해 신속하고 정확한 결함 검사를 통해 생산 기술이 지속적으로 안정적이고 수익성이 높아집니다. EScan 315에는 고속 컬러 CCD 카메라와 X, Y, Z 모션 스테이지가 장착되어 있어 넓은 지역에서 제품의 안정적인 이미징을 보장합니다. 웨이퍼는 먼저 컬러 CCD 기술 (Color CCD Technology) 을 사용하여 스캔한 다음 이미지를 처리하여 자세한 패턴 검사 및 비교를 수행합니다. PAT-FINDER 이미지 프로세서는 밝고 어두운 필드 조명을 사용하여 감도를 최대화하며, 자동 모서리 감지 (automated edge detection) 알고리즘은 패턴 비교 및 정량화를위한 균일 한 기준선을 제공합니다. 사용자가 HMI eScan 315를 사용하여 결함 임계값을 조정하고, 감지할 결함 유형을 선택하고, 이미지 스캔을 검토하여 결함 원인을 정확하게 파악할 수 있습니다. 이 장치에는 사용자 정의 정찰 (scouting) 기능도 있습니다. 이 기능은 검사 프로세스에 대한 추가 제어 수준을 제공합니다. 스카우트 (scouting) 기능을 통해 사용자는 다양한 제품 결함을 쉽고 신속하게 검사할 수 있습니다. EScan 315 는 업계 표준 안전 (Safety) 기능과 모듈식 엔지니어링 설계를 통해 설계되었으며, 유연성이 극대화되고 유지 보수가 용이합니다. 모듈식 유지 보수 (Modular Maintenance) 를 통해 주요 구성요소를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있으므로 다운타임을 줄이고 비용을 절감할 수 있습니다. HMI eScan 315에는 다중 축 스캔 및 보간 동작 제어를 포함한 고급 동작 제어 기능도 있습니다. EScan 315 는 wafer 및 mask 검사 프로세스를 위한 비용 효율적인 장치로, 정확한 결함 감지 및 결함 수정을 제공합니다. 강력한 기술, 고급 모션 컨트롤 기능, 모듈식 엔지니어링 설계를 갖춘 HMI eScan 315 (HMI eScan 315) 는 모든 업계 또는 연구 기관에 이상적인 선택입니다. 이 머신은 유지보수 (maintenance) 와 다운타임 (downtime) 을 최소화하면서 안정적이고 반복 가능한 스캐닝을 제공하며, 결국 운영 효율성을 높이고 운영 비용을 절감할 수 있습니다.
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