판매용 중고 KOKUSAI DJ-1205V #9120660

KOKUSAI DJ-1205V 확산 로와 액세서리는 기판 표면/필름 증착 처리를 위해 설계된 강력한 다목적 장치입니다. 최대 총 열 용량 (~ 20kW) 과 함께 200 ° C ~ 1200 ° C 범위의 다양한 온도 균일성과 안정성을 제공합니다. 이 장치에는 쿼츠 튜브, 자동 로드 및 언로드 장비, 독립 공기 여과, 온도 컨트롤러 및 사용하기 쉬운 컨트롤러 소프트웨어가 장착되어 있습니다. DJ-1205V는 내부 직경이 26 인치 인 수평, 분할 된 저열 질량 석영 튜브로, 유효 원자로 직경은 22입니다. "퍼니스는 최대 1,200 ° C 온도와 15 atm 이상의 열전도 가열을 가능하게합니다. 전체 원자로에서 균일 한 온도를 제공하여 기질 표면에서 균질 한 필름 (clogeneous film) 성장을 보장합니다. 가스 시스템은 다양한 공정에 대해 최대 4 개의 가스를 조작 할 수 있습니다. "텐션 스프링 '은 용광로 에" 쿼츠' 관 을 안전 하게 배치 하고 잠재적 인 손상 으로부터 "튜브 '를 보호 해 준다. KOKUSAI DJ-1205V 퍼니스의 자동 로드 및 언로드 장치에는 상단 로딩 및 하단 로딩 응용 프로그램을 위해 설계된 자기 구동, 폐쇄 루프 로봇 암이 포함되어 있습니다. "머신 '은 기판 을" 쿼츠 튜브' 에 정확 하게 배치 하여 "필름 '의 균일 하고 정확 한 증착 을 보장 한다. 환경 불순물을 제거 할 수있는 독립적 인 공기 여과 도구도 존재합니다. DJ-1205V 에는 쿼츠 튜브의 온도를 제어, 모니터링하는 외부 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이 장치는 PID 온도 제어를 갖춘 4 구역 난방 영역 설계를 특징으로합니다. 용광로에는 알람 (Alarm) 에셋이 내장되어 있어 사용자에게 불규칙성을 알리고 안전한 작동을 보장할 수 있습니다. 컨트롤러 소프트웨어는 용광로의 간단한 설정 및 작동을 허용합니다. KOKUSAI DJ-1205V 확산 로와 액세서리는 최고의 기계, 전기, 소프트웨어 기술을 결합하여 우수한 품질의 증착 처리 및 수율 향상을 제공합니다. 사용자에게 균일 한 공정 온도, 정확한 필름 증착 및 깨끗한 작동을위한 추가 공기 여과를 제공합니다. 광범위한 기능, 다양한 온도 범위, 고성능 DJ-1205V 는 뛰어난 성능과 생산성을 제공하여, 품질이 뛰어나고, 안정성이 뛰어난 필름 증착 결과를 제공합니다.