판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #9404448

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000은 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램을위한 완전히 자동화 된 웨이퍼 핸들러입니다. 제조 후 (post-fabrication) 및 생산 전 (pre-production) 어플리케이션에서 안정적이고 일관된 웨이퍼 처리를 제공하도록 설계되었습니다. IRVINE OPTICAL APS 2000은 고유 한 고급 로봇 암 (robotic arm) 기술과 넓은 시야를 사용하여 전체 웨이퍼 표면을 덮습니다. 임의의 피치에서 모든 유형의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 단일 하중에서 최대 8 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 브룩스 자동화 APS-2000 (BROOKS AUTOMATION APS-2000) 은 진공 밀봉 컨택트 프레임을 통해 자동 장비의 웨이퍼 송수도 보장합니다. 이 "와퍼 '를 적재 하기 전 에 개별" 웨이퍼' 를 식별 하고 검사 하는 데 필요 한 현미경 을 없애고, 각 "웨이퍼 '를 정확 한 방향 으로 안전 하게 옮겨 제시 한다. 기계식 "그리퍼 '" 시스템' 은 각 "웨이퍼 '를 단단 히 움직 여 적재 및 언로드 중 에 넘어가거나 잘못 정렬 되는 것 을 방지 한다. IRVINE OPTICAL APS-2000에는 사용하기 쉬운 제어판이 장착되어 있습니다. 조작자는 제어판에 직접 다양한 웨이퍼 처리 기동 (예: 로드, 언로드, 포지셔닝, 개별 웨이퍼 방향) 을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 이 장치는 컴퓨터 기반 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 로 프로그래밍됩니다. 이 사용자 인터페이스를 통해 운영자는 전송 및 프로세스 매개변수, 프로그램 조작 시퀀스 (Program Manipulation Sequence) 를 손쉽게 지정하고 결과를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS-2000에는 장애 복구 시스템도 장착되어 있습니다. 이 도구는 부품 손상을 줄이고 폐기물을 방지하기 위해 웨이퍼 (wafer) 처리 중 오류를 찾아서 해결하도록 설계되었습니다. 잘못 정렬된 웨이퍼, 불완전한 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 또는 기타 유형의 오류를 감지하고 그에 따라 반응할 수 있습니다. 모든 Error Information 은 정확한 유지 보수 및 문제 해결을 위해 로그인됩니다. 안전성 향상을 위해 APS-2000 은 표준 안전 연동 장치 (Standard Safety Interlock) 와 함께 제공되며, 이를 통해 작업 구역에 있는 모든 사용자가 자동화된 자산을 사용할 수 없습니다. 따라서 운영자와 구성요소 모두에서 잠재적 위험 (Potential Hazard) 이 제거됩니다. 전반적으로 APS 2000 웨이퍼 핸들러는 신뢰성이 높고, 효율적이며, 안전한 자동 장비입니다. 고급 로봇 암 (Robotic Arm) 기술, 직관적인 사용자 인터페이스, 강력한 결함 복구 모델을 통해 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 를 이전보다 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다.