판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #9225050

ID: 9225050
Wafer sorter.
IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000은 웨이퍼 레벨 포장 및 테스트 요구를 위해 설계된 반도체 웨이퍼 핸들러입니다. 장비는 단일 프레임 로봇 플랫폼과 2 개의 클램핑 패드 (웨이퍼 용 1 개, 팔레트 용 1 개) 로 구성됩니다. 로봇 플랫폼은 주요 로봇 갑과 보조 갑으로 구성됩니다. 두 팔 모두 브러시리스 (brushless) 서보 모터와 고정밀 작동을위한 인코더로 구동됩니다. IRVINE OPTICAL APS 2000을 사용하면 정확한 요구에 따라 웨이퍼 처리를 사용자 정의할 수 있습니다. 모든 기능을 갖춘 소프트웨어 제품군을 사용하면 고급 프로그래밍 기술 없이 프로그램을 만들고 편집할 수 있습니다. 또한 프로그램 흐름 제어 (Flow Control) 및 연동하여 운영 프로세스 전반에 걸쳐 안전을 유지할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION APS-2000의 최고 속도는 180mm/s이며 정확도는 0.2mm입니다. "로봇 '의 동작/동작 은 속도, 곡선, 가속도, 저크 제어 로 미세 조정 할 수 있다. 고정밀 전송 (High-Precision Transfer) 옵션은 팔레트의 웨이퍼를 정확하게 정렬하기 위해 로봇의 최적 세그먼트 선형 (Optimalsegment Linear) 및 원형 이동 (Circular Movement) 을 생성하는 자동 프로그래밍 기능을 사용하여 활성화됩니다. APS-2000 은 조심스럽고 안전한 웨이퍼핸들링 (waferhandling) 프로세스를 제공하는데, 이 프로세스는 내장형 진공 척 (vacuum chuck) 을 사용하여 웨이퍼를 잡아서 움직이는 기능을 제공하며, 먼지 덮개가 내장된 안전 주택을 제공합니다. 이 시스템은 또한 자동 초점 (auto-focus) 과 조명 (lighting) 을 통합하여 수동 개입 없이 정렬 및 검사를 지원합니다. 또한 APS 2000 은 고객의 요구 사항에 따라 다양한 맞춤형 구성 옵션과 기능을 제공합니다. 여기에는 컨베이어, 공압 게이트웨이 등과 같은 맞춤형 로딩 시스템이 포함됩니다. 자기 측정 시스템, pick-and-place 관리, label printing 및 vision unit 통합과 같은 다른 기능도 사용할 수 있습니다. BROOKS AUTOMATION APS 2000은 웨퍼 레벨 패키징 및 테스트 요구를 충족하는 안정적이고 성능이 뛰어난 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 즉, 고속 작동, 정확성, 사용자 정의 옵션을 통해 운영 라인에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다. 이 견고하고 최첨단 시스템: 사용자가 손쉽게 효율적이고 정확한 웨이퍼 처리 작업을 수행할 수 있습니다.
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