판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #185015

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000은 다양한 반도체 제조 프로세스에 자동 모션 제어, 웨이퍼 전송 및 데이터 획득을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 핸들러 로봇 장비입니다. 이 시스템은 두 가지 주요 구성 요소 (기본 구조와 웨이퍼 암) 로 구성됩니다. 기본 구조는 알루미늄 프레임 (aluminum frame) 과 전력 랙 (electrical power rack) 으로 구성되어 있으며 전체 유닛의 플랫폼을 제공합니다. 이것은 전체 시스템의 최대 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 베이스에는 완전 전력 분배 도구 (full power distribution tool) 와 이중 공압 자산 (redundant pneumatic asset) 이 장착되어 있어 로봇의 작동을 위해 안정적이고 안전한 환경을 제공합니다. 또한, 기본 구조는 대부분의 표준 이온 임플랜터와 호환되도록 설계되었습니다. 웨이퍼 암은 매우 자동화되고 정확한 웨이퍼 위치를 위해 설계되었습니다. 컴퓨터 제어, 정밀 제어, 6 축 로봇 암으로 최대 800mm입니다. 암은 한 방에서 다른 방으로 웨이퍼를 이동하면서 반복성, 정확성, 속도 요구 사항을 수행 할 수 있습니다. IRVINE OPTICAL APS 2000에는 따르기 쉬운 지침을 제공하는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 장착되어 있습니다. 여기에는 다양한 모션 제어 (Motion Control) 기능이 포함되어 있어 제품 품질이 향상되고 속도가 빨라집니다. 또한, 이 모델은 광범위한 데이터 획득 및 보고 기능을 제공하여, 제품 품질 보장을 향상시킵니다. 이 장비에는 압력 센서, 제한 스위치, 소프트웨어 기반 안전 기능 등 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, "로봇 '이 오작동 시 인원 이나 부품 에 해 를 입히지 않는다. 로봇은 UL 인증을 포함한 엄격한 안전 테스트를 통과하도록 설계되었습니다. 전반적으로 BROOKS AUTOMATION APS-2000은 다양한 반도체 제조 프로세스에 대해 프로세스 제어, 반복 가능성, 안전성 향상을 제공하도록 설계되었습니다. 견고한 기본 구조, 직관적인 GUI, 다목적 모션 컨트롤 기능, 확장 된 리치를 갖춘 고급 웨이퍼 암 (Wafer Arm) 이 특징입니다. 안전 (Safety) 기능은 인력 및 구성요소를 오작동으로부터 보호하는 데 도움이되며, UL 인증 (UL certification) 을 통해 사용자의 운영이 필요한 안전 표준을 준수하도록 보장합니다.