판매용 중고 IRVINE OPTICAL / BROOKS AUTOMATION APS 2000 #293748039

IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS 2000은 반도체 제조 시설에서 반도체 웨이퍼에 대한 로드 및 언로드 프로세스를 자동화하기 위해 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 처리기는 높은 정확도와 속도로 여러 웨이퍼를 전송, 검색, 배치할 수 있습니다. 최대 6 인치에 도달 할 수있는 1 개 또는 2 개의 로봇 암이있는 허브 영역과 결합 된 4 단계 웨이퍼 슈트 (wafer chute) 가 특징입니다. 로봇 암은 직경 472mm의 웨이퍼를 운송하고 시간당 최대 30 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. "로봇 '암 은 정밀 한" 서보 모우터' 로 구동 되며, "로봇 '조립품 은" 웨이퍼' 의 정확 한 위치 와 정확 한 번역 을 보장 하도록 설계 되었다. IRVINE OPTICAL APS 2000의 두 가지 주요 구성 요소는 웨이퍼 슈트 및 로봇 어셈블리입니다. 전자는 한 단계 (processing) 에서 다른 단계로 이동함에 따라 웨이퍼를 안전하게 운송 및 보관하도록 설계되었습니다. 4 단계로 구성되며, 각각 BT 도핑 또는 FT 융합 웨이퍼와 같은 다양한 유형의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 단계가 상호 연결되어 프로세스 전체에서 부드럽게 이동합니다. BROOKS AUTOMATION APS-2000의 로봇 어셈블리는 2 개의 로봇 암과 허브 영역으로 구성됩니다. 이 팔은 최대 6 인치에 도달 할 수 있으며, 웨이퍼를 0.2 미크론까지 정확하게 배치 할 수 있습니다. 허브 (Hub) 영역에는 웨이퍼의 원활한 전송을위한 로드 포트가 장착되어 있으며, 고급 비전 (Advanced Vision) 시스템을 활용하여 정확한 정렬을 보장합니다. IRVINE OPTICAL/BROOKS AUTOMATION APS-2000은 직관적인 사용자 인터페이스로 설계되어, 운영자는 완전한 프로세스를 쉽게 관리할 수 있습니다. 이 인터페이스는 다양한 소프트웨어 프로그램, 자동 시스템과 통합되어 운영 프로세스를 간소화할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 손쉬운 유지 관리 및 청소 (removable cover), 내부 구성 요소에 액세스할 수 있도록 열릴 수 있는 커버, 공구 접근성을 위해 설계되었습니다. APS-2000 은 웨이퍼 처리 프로세스의 정확성, 유연성 및 효율성을 높이기 위한 것입니다. 뛰어난 처리 능력, 확장 된 로봇 리치, 정확한 정렬 기능, 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 를 갖춘 이 웨이퍼 핸들러는 대규모 반도체 제조 작업에 적합한 솔루션입니다.