판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9402055
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ID: 9402055
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
CVD System, 8"
Process: PE SiH4 Oxide / Nitride
Clamp cassette indexer
HDD: SSD Type
FDD: SCSI, 3.5"
Elevator type: 8 Slots, 8"
Robot type: AMAT Standard
Blade: Standard, 8"
I/O Sensor and door
Center finder
Vacuum sensor
Standard slit value
Fore line
Signal tower: R / Y / G / B
Standard AC Rack
ENI OEM-12B-07 RF Generator
(3) RF Matching network
Heater exchanger
Does not include pump
Remote AC rack
Heat Exchanger: AMAT-1
Mini controller
POU Filter
Throttle valve: Cluster
Isolation valve: Nor-Cal
Lamp driver
Process chamber:
(3) Chambers: A, B, C
Type: DLH One-hole standard
CERAMIC Hoop wafer lift type
Heater: Lamp type
Lid assembly: O-Ring
Susceptor missing
Process kit:
Heater window
Lamp
Lift pin
Susceptor / Wafer lift bellows
Water Flow Switch:
A and B (modified)
C-Proteus switch
Gas panel:
Type: Standard
MFC: STEC
PNEUMATIC Value: Nupro
Manual shut off
Gas: SiH4 / N2O / NH3 / CF4 / C3F8 / C2F6 / He / N2
Chamber A:
Gas / MFC
N2 / 1000
N2 / 300
O2 / 20
N2 / 3000
N2 / 1000
N2 / 500
Chamber B:
Gas / MFC
N2 / 1000
N2 / 300
N2 / 300
O2 / 20
N2 / 1000
SiH4 / 500
Chamber C:
Gas / MFC
N2 / 1000
N2 / 1000
Ar / 100
N2 / 3000
N2 / 1000
N2 / 5000
Main DC power supply
VME DC power supply
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 마크 II (Mark II) 원자로는 고순도 및 저온 강착 특성을 모두 요구하는 것을 포함하여 광범위한 대용량 응용 프로그램을 처리하도록 설계된 일반 반도체 장치 생산 장비입니다. AMAT P5000 Mark II 는 사용자 지정 기능이 뛰어나 여러 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 고속 회전 전자 빔 소스와 고급 스캐닝 기능으로, 빠른 생산 속도를 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II 원자로는 또한 고급 가스 및 화학 관리 시스템을 갖추고 있으며, 성분을 정확하게 복용하고 반응성 부산물이 빠르고 안전하게 제거됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II는 강력한 내장형 컨트롤러로, 사용이 간편한 단일 인터페이스에서 정교한 프로세스를 프로그래밍할 수 있습니다. 다양한 온도 조절 기능을 통해 웨이퍼 (Wafer) 구성 시 제품 품질을 극대화할 수 있습니다. 제어 시스템에는 경고 모니터링 (alarm monitoring) 기능이 포함되어 있어 다운타임을 최소화하면서 디바이스를 원활하게 실행할 수 있습니다. AMAT P 5000 MARK II 에는 고급 모니터링 및 데이터 로깅 기능도 포함되어 있어 프로세스 전반에 걸쳐 통합 매개 변수를 모니터링할 수 있습니다. P 5000 MARK II는 매우 유연한 DTWV (distance-to-wafer variable) 를 제공하여 단일 원자로 헤드에 최대 5 개의 개별 거리 설정을 구성할 수 있습니다. 즉, 사용자는 여러 원자로를 구매하지 않고도 wafer fabrication setup을 쉽게 확장 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 Mark II 는 로봇 마운트, 맞춤형 엔클로저 등 다양한 물리적 옵션으로 구성할 수도 있습니다. P5000 Mark II는 안정적이고 강력한 장치 생산 장치입니다. 최첨단 기술 기능을 통해 요구 사항이 정확한 대용량 프로세스에 적합한 솔루션이 됩니다. 즉, 필요한 수준의 제어 (Control), 모니터링 (Monitor), 데이터 로깅 (Data Logging) 을 통해 산업용 애플리케이션의 구체적인 요구 사항을 충족하도록 쉽게 구성할 수 있습니다. 강력한 내장형 제어 머신과 손쉬운 확장성을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II는 안정적이고 고급 반도체 장치 생산 솔루션입니다.
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