판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9097285
URL이 복사되었습니다!
ID: 9097285
웨이퍼 크기: 8"
PECVD SiN system, 8"
(4) Chambers: PECVD SiN, lamp heated
Robot: Phase III
Robot blade assy: missing
TTW Config
Elevator: 15-slot
Egormica loader: optional
Phase 4 matches on each chamber
VME: 21-slot
Heat exchanger: AMAT-0.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II 원자로는 IC (Integrated Circuit) 칩 제조에 사용되는 증착 도구 유형입니다. 이 도구는 현대 반도체 재료 제작에 필수적입니다. 이 "필름 '은 작은" 트랜지스터' 와 상호연결 을 만드는 데 필요 한 복잡 한 구조 를 가능 케 하는 기판 에 "박막 '을 적용 하는 데 사용 된다. 이것은 IC 칩을위한 제조 프로세스의 핵심 부분입니다. AMAT P5000 Mark II는 P5000 도구 플랫폼을 기반으로 하며 까다로운 어플리케이션을 위한 고급 프로세스 기능을 제공합니다. 전체 발자국 너비는 64 인치이며 너비는 76 인치입니다. 염기는 최대 4 개의 작업 셀을 지원할 수 있으며, 이를 통해 여러 프로세스를 동시에 수행 할 수 있습니다. 각 세포에는 50 센티미터 x 30 센티미터 석영 라이너가 장착되어 있으며, 최대 1000 ° C의 온도를 견딜 수 있으며 최대 5 Torr의 압력을 가할 수 있습니다. 세포 는 조정 이 가능 하며, 증발, 스퍼터링, "이온 '도핑 소스 와 같은 여러 가지 근원 에 부착 될 수 있다. 이 시스템에는 압력과 온도 감지 (pressure and temperature detection) 와 같은 다양한 센서와 통합 (integrated) 조회 영역이 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 매개변수를 면밀히 모니터링하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다 (영문). 또한 APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II는 개방형 통신 아키텍처를 사용하여 광범위한 자동화 시스템과 통합 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS P5000 Mark II에는 레이저 제거 처리를 위해 이산화탄소 레이저 인 P5000EO 버전과 같은 대체 구성도 있습니다. 또한, P5000TI 버전은 온도 조절을 추가하기 위해 일치하는 쌍 도가니 (pair crucible) 와 온도 균일성 향상을 위해 항공기 등급 알루미늄 라이너 (aluminum liner) 를 사용할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 P5000 Mark II는 고급 IC 제작을 위한 다용도 및 신뢰성 있는 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다