판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9356928
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ID: 9356928
웨이퍼 크기: 8"
PECVD System, 8"
(3) Chambers
Process: TEOS, TEB, TEPO
Throttle valve, P/N: 0010-76174
SACVD Gas box
Pressure transducer, P/N: 122BA-01000EB-S
Transducer, P/N: 627A-13267
Mass Flow Controller (MFC), P/N: LF-310A-EVD
Gases: N2, O2, NH3, He
(3) Lamp assemblies, P/N: 0010-09978
(3) RF Match assemblies, P/N: 0010-09750
(3) 5000 / 5200 CVD C-Plug throttle valves, P/N: 0010-37151
Remote control liquid injector, P/N: 0010-09886
ASTEX AX8200 Ozone generators:
(2) AX8200A-CE, P/N: 0190-35870
AX8200A, P/N: 0190-09437
(3) ENI OEM-12B RF Generator, 1250 W
(3) ADCS Gas box and controllers
(3) ADCS A1 Signal interface modules
(3) ADCS Automatic purge controllers
(3) ADCS BRC 22A Integrated refill controllers
(3) ADCS 969 Low level monitors
Ozone generator rack
Gas, shower head box
Cables.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II 원자로 장비는 반도체 관련 생산을 위해 설계된 최첨단 원자로입니다. AMAT P5000 Mark II 원자로는 박막 침착에서 에치 처리에 이르기까지 모든 것에 이상적입니다. 다양한 공정 챔버 (process chamber) 를 통해 Mark II 원자로는 정밀도와 성능 사이의 완벽한 균형을 달성 할 수 있습니다. 열 균일성, 압력 제어 (pressure control) 및 저렴한 전자 서브 시스템 (electronic sub-system) 과 같은 고급 기능이 장착 된 Mark II 원자로는 사용자에게 품질 증착 및 에칭 경험을 제공합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II 원자로에는 DBMPC (Dual-Beam Multi-Process Chamber) 라는 고유 한 기능이 포함되어 있습니다. 이 챔버 (chamber) 기능은 단일 챔버에서 2 개의 원자 빔 소스 프로세스를 결합 할 수있는 다기능 챔버입니다. 이렇게 하면 단일 챔버 내에서 증착 (deposition) 및 에칭 (etching) 프로세스를 모두 수행할 수 있는 유연성이 제공됩니다. 마크 II (Mark II) 원자로는 저가의 전자 서브 유닛을 사용하여 챔버 환경 내에서 기판 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 기계는 600 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 온도는 전체 기판에서 1% 이내입니다. 효율적인 진공 도구 (vacuum tool) 에 의해 온도 균일성이 향상되어 챔버 압력이 낮고 안정적으로 유지됩니다. Mark II 원자로에는 고급 공정 가스 혼합 프로그램이 장착되어 있습니다. 혼합 프로그램은 원하는 프로세스 결과를 얻기 위해 시간, 흐름 속도, 압력 및 온도를 제어합니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 제어 (process control) 를 정확하게 수행할 수 있으며, 프로세스를 매우 높은 수준의 정확도와 반복 (repeatability) 으로 수행할 수 있습니다. 마크 II (Mark II) 원자로는 사용자와 장비를 보호하기 위해 안전 자산으로 설계되었습니다. 안전 모델에는 여러 안전 센서, 온도 센서 및 인터 록 (interlock) 이 포함되어 있어 사용자 안전 및 작동 장비 신뢰성을 보장합니다. AMAT P 5000 MARK II 원자로 장비는 반도체 관련 생산에 이상적인 선택입니다. 고급 기능, 정확한 온도 조절, 고급 공정 가스 혼합 및 안전 시스템 (Safety System) 을 통해 마크 II (Mark II) 원자로는 반도체 업계의 사용자에게 최고의 선택입니다.
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