판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9196212

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II는 반도체 산업의 응용 분야를 위해 설계된 고성능 증착 원자로입니다. 이 고급 장비는 사용자별 구성을 지원하는 맞춤형 원자로입니다. 하위 미크론 균일성과 뛰어난 프로세스 기능을 제공하도록 설계되었습니다. "시스템 '의 반응물 은" 가스' 전달 장치 를 통하여 반응 머리 나 감수기 에 전달 된다. 사용 된 반응물은 적용에 따라 다르지만 실레인, 산소, 헬륨, 질소, 아르곤 및 기타 관련 가스를 포함 할 수 있습니다. 그런 다음, 반응물은 반응 챔버에 주입되어 반응성 플라즈마를 형성한다. 이 혈장은 단일 결정 웨이퍼에서 나노 크기 입자에 이르기까지 다양한 기판을 생성합니다. AMAT P5000 Mark II는 2 단계 설계로 여러 가열 및 냉각 단계를 지원합니다. 난방은 유도 또는 석영 보트와 같은 다양한 방법을 통해 달성됩니다. 냉각 방법은 온도를 원하는 수준으로 유지하는 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 기반으로 합니다. 이 기계는 또한 패러데이 쉴드 (Faraday shield) 를 사용하여 기판 처리 중에 플라즈마 입자를 웨이퍼 위로 안내합니다. APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II에는 통합 소프트웨어를 사용하여 증착 속도, 온도 및 기판 균일성을 정확하게 제어 할 수있는 3D 제어 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 프로세스 매개변수를 보다 효율적으로 관리할 수 있으며, 다른 프로세스 레시피에 대해 프로그래밍할 수 있습니다. 자산은 또한 자동화된 로더와 통합되어 생산성 및 효율성을 향상시킵니다. 이 모델에는 긴급 정지 (Emergency Stop), 경보 보고 (Alarm Reporting) 및 자동 전원 차단 (Auto-Power Shutdown) 과 같은 다양한 안전 기능도 있습니다. P 5000 MARK II는 청소, 유지 보수가 쉽고, 특정 응용 프로그램을 위해 원자로를 사용자 정의하기 위해 개조 할 수 있습니다. 고급 장비는 고급 (Enhanced) 기능과 뛰어난 제어 기능을 통해 고품질 증착과 뛰어난 수율을 제공합니다.