판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9153739

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II는 반도체 산업에서 광범위하게 사용되는 고성능 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 플라즈마 강화 된 CVD 챔버 (CVD 챔버) 로, 고급 반도체 재료의 성장을 위해 고품질의 고성능 환경을 제공합니다. 이 시스템은 메인 챔버, 기판 척, 샤워 헤드 어셈블리 및 플라즈마 소스로 구성됩니다. P5000 메인 챔버는 스테인리스 스틸 진공 실, 열 절연 안감, 특수 에치 내성 탑 코트로 구성됩니다. 알루미늄 기판 척은 고품질 필름 증착을 보장하기 위해 정확한 온도 조절 및 균일 한 가열을 제공합니다. 챔버에는 향상된 성능, 온도 균질성, 균일 한 기판 온도를 제공하는 활발하게 냉각 된 돔 루버 (dome louver) 어셈블리가 장착되어 있습니다. "가스 '" 인젝터' 로 구성 된 "쇼어헤드 '조립품 에는" 카세트 마스크' 와 금속 "메쉬 '와 함께 다양 한 석영" 쇼어헤드' 삽입물 이 들어 있다. 이 로 말미암아 퇴적 된 "필름 '의 성장률 과 구성 을 정확 히 제어 할 수 있다. 쇼어 헤드 어셈블리는 또한 웨이퍼의 플라즈마 치료를위한 서셉터로 두 배가됩니다. P5000의 플라즈마 소스는 13.56MHz 유도 결합 RF 발전기입니다. 방에 RF 전력을 공급하여 반도체 재료를 에너지화하고 이온화 할 수있다. RF 생성기는 또한 동적으로 튜닝 가능하여 증착, 산화 및 에치 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. AMAT P5000 Mark II는 필름 증착, 균일 한 기판 난방 및 냉각, 동적 플라즈마 소스 튜닝에 대한 정확한 제어를 결합하여 뛰어난 신뢰성, 높은 처리량 및 뛰어난 필름 품질을 제공하는 첨단 최첨단 CVD 원자로입니다. "반도체 '산업 에 매우 가치 있는 도구 로서, 고급 재료 를 연구 하고 개발 하기 위한 일관성 있고 믿을 만한" 플랫폼' 을 제공 한다.