중고 ATM (웨이퍼 핸들러) 판매용
ATM 제조업체는 종종 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 를 기계에 통합하여 제조 과정에서 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 처리합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 반도체 산업에서 중요합니다. 여기서 웨이퍼는 집적 회로를 생산하는 주요 기판입니다. 웨이퍼 핸들러는 ATM 제조업체에 몇 가지 이점을 제공합니다. 첫째, 이 핸들러는 고속 웨이퍼 수송을 제공하여 빠르고 지속적인 생산을 허용합니다. 고급 로봇 암 (robotic arm) 과 컨베이언스 시스템 (Conveyance System) 을 장착하여 제조 라인 전체에서 부드러운 웨이퍼 이동을 보장합니다. 또한, 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 정밀 정렬 메커니즘을 통합하여 처리 장비에 웨이퍼를 정확하게 배치하여 손상 위험을 줄입니다. ATM 산업에서 웨이퍼 핸들러의 유사체에는 탑 마운트 핸들러, 프론트 오픈 로드 세미 핸들러 및 로드 포트 핸들러가 포함됩니다. 탑마운트 핸들러 (Top-mount handler) 는 일반적으로 사용되며 컴퓨터 위에 배치된 카세트에서 웨이퍼를 로드 및 언로드하도록 설계되었습니다. 프런트 오픈 로드 세미 핸들러 (Front-open-load-semi handler) 를 통해 운영자는 시스템의 앞면에 액세스하여 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 것이 더 쉬워집니다. 로드 포트 핸들러는 운영자의 개입을 피하기 위해 카세트에서 직접 웨이퍼를 자동으로 로드 및 언로드합니다. ATM 제조 산업에서 웨이퍼 핸들러의 두드러진 예로는 Tower H-8340, Brooks Automation AP 시리즈 및 SUSS MicroTec Precision Wafer Handler가 있습니다. 이러한 처리기는 ATM 제조업체에 높은 안정성, 향상된 수율, 향상된 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 궁극적으로 고품질 집적회로 생산에 기여합니다.