판매용 중고 LEICA / VISTEC INS 1000 #9265472
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LEICA/VISTEC INS 1000은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 플랫폼입니다. 전체 자동화된 장비로, 결함 및 공정 수차를 정확하게 파악할 수 있습니다. 이 시스템은 나노 미터 (nanometer) 수준까지 결함을 식별하고 정량화할 수 있습니다. 탁월한 이미지 분석 기능을 제공하며, 연구, 개발, 제조 분야에 적합합니다. 라이카 인스 1000 (LEICA INS 1000) 은 스캐닝 전자 현미경과 광학 현미경을 조합하여 마스크와 웨이퍼의 품질을 검사하는 다중 채널 광학 검사 장치입니다. 이 기계에는 내장형 레이저 정렬 도구, 내장형 고해상도 카메라, 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하는 완전 자동화 (fully automated) 소프트웨어/하드웨어 제품군이 함께 제공됩니다. 에셋은 에칭되지 않은 서피스와 에칭되지 않은 서피스를 모두 분석 할 수 있습니다. 이 모델에는 수동 (manual) 및 자동 (automated) 작업 모드가 있어 연구 및 생산 환경 모두에서 사용할 수 있습니다. 수동 (Manual) 모드는 연구에 필요한 정확성과 기능을 제공하는 반면, 자동 (Automated) 모드는 더 큰 샘플 검사 프로젝트에서 사용하도록 설계되었습니다. 이 장비는 적응력이 높게 설계되었으며, 다양한 응용 프로그램 (application) 에서 사용할 수 있습니다. 통합 소프트웨어는 사용자에게 결함 및 프로세스 수차 (process aberration) 를 분석, 정량화하는 포괄적인 툴을 제공하도록 설계되었습니다. 소프트웨어는 마스크 및 웨이퍼 모두에 대한 결함 데이터의 추출, 비교, 프레젠테이션을 지원합니다. 이 소프트웨어에는 사용자 정의 그래픽, 그래픽 오버레이, 결함 맵 등을 생성하기 위한 데이터 프레젠테이션 모듈 (Suite of Data Presentation Module) 도 포함되어 있습니다. 이 시스템에는 자동 이미지 분석 소프트웨어 (Automated Image Analysis Software) 및 분석 라이브러리 (Analysis Library), 샘플 전송 시스템 및 다양한 크기 및 샘플 재료 구성을 수용하기위한 다양한 샘플 홀더 (Sample Holder) 와 같은 여러 옵션 액세서리가 포함되어 있습니다. 따라서 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. VISTEC INS1000 은 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 분석할 수 있는 기능을 제공하며, 이미지 해상도는 3 나노미터입니다. 이는 반도체 소자 제조와 같이 이미지 품질이 가장 높은 어플리케이션에 이상적입니다. 이 장치는 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 즉, 경험이 부족한 사용자조차도 안정적이고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 유지 보수가 낮고 강력한 구성으로 안정성이 뛰어납니다. 또한 매우 컴팩트하여 기존 프로세스에 통합할 수 있습니다. 이것은 반도체 생산, 연구 및 개발에 훌륭한 선택입니다.
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