판매용 중고 KLA / TENCOR es20xp #293592548

ID: 293592548
E-Beam inspection system, parts machine Chamber Robot (2) Load ports missing.
KLA/TENCOR es20xp는 오늘날 광학 석판화 산업의 엄격한 마스크 및 웨이퍼 결함 감지 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 (Mask and Wafer) 검사 장비입니다. KLA ES20 XP는 매우 효율적이고, 비용 효율적이며, 정확한 결함 검토를 제공하며, 웨이퍼 (Wafer) 제작 프로세스의 속도를 높이고 출시 시간을 단축합니다. TENCOR ES 20 XP는 고유 한 트리플 축 스캐닝 시스템 (triple axis scanning system) 을 사용하여 장치 또는 수율에 결함이 발생할 수있는 미세한 결함을 정확하게 감지하고 분석합니다. TENCOR es20xp는 특허를받은 GENII Imaging Unit을 사용하여 마스크 또는 웨이퍼의 brightfield 및 darkfield imaging을 수행합니다. 이 이미징 머신은 해상도를 높이고 결함 탐지에 대한 감도를 높입니다. ES20 XP는 또한 가변 슬릿 크기 (variable slit size), 가변 뷰 (variable field of view), 가변 초점 (variable focus) 및 가장 완벽한 마스크 및 웨이퍼 결함 검사에 대한 가변 대비를 포함한 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. KLA es20xp 는 특허를 획득한 자동화된 결함 분류 툴을 사용하여 결함을 파악하고 분류합니다. 결함은 크기, 모양, 위치, 방향 및 컴포지션에 따라 분류됩니다. 또한 es20xp 는 프로세스 브리징 (process bridging), 라인 브리징 (line bridging) 및 오픈 결함 (open defect) 을 감지하여 디바이스나 웨이퍼의 결함을 가장 포괄적으로 파악할 수 있습니다. ES 20 XP 는 처리량이 높아 다른 시스템과 차별화되며, 스캔 속도 (초당 최대 200 개의 스캐닝 라인) 를 제공합니다. 또한, KLA/TENCOR ES20 XP는 마스크 또는 웨이퍼에서 심각한 결함 크기를 측정 할 때 최대 1.5 미크론의 반복 가능한 측정 정확도로 매우 안정적이고 정확합니다. KLA/TENCOR ES 20 XP는 놀라운 검사 기능 외에도 TENCOR ES20 XP 작동을 완벽하게 제어하는 사용자 친화적이고 사용하기 쉬운 HMI (Human Machine Interface) 를 제공합니다. 사용자에게 친숙한 HMI 를 사용하면 자산을 빠르고 쉽게 설정하고, 데이터를 검토하고, 결과를 보고할 수 있습니다. 통계 분석/보고 기능이 내장되어 있어 데이터를 손쉽게 검토하고 분석할 수 있습니다. KLA ES 20 XP는 마스크, 웨이퍼 검사 및 결함 검토를 위한 고급 생산성 솔루션을 제공합니다. 검사 모델의 신뢰성과 결합된 고품질 (High Quality) 과 정확성 (Accuracy) 을 통해 생산량이 향상되고 프로세스 다운타임이 줄어들어 디바이스 제조업체의 출시 시간이 단축됩니다.
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