판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 736 XS #9011672
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AMAT/APPLIED MATERIALS/ORBOT WF 736 XS는 엔지니어에게 고성능 결함 감지 및 심층 분석을 제공하기 위해 설계된 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 SEM (Scanning Electron Microscopy), 공백 현미경 및 형광 이미징 (Fluorescent Imaging) 과 같은 비파괴 영상 기술을 사용하여 반도체 제작 과정에서 웨이퍼 또는 마스크 표면의 문제를 신속하게 감지합니다. AMAT WF 736 XS (AMAT WF 736 XS) 에는 웨이퍼와 마스크 모두에서 결함을 효율적으로 감지 할 수있는 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 이 장치는 이미지 인식 알고리즘 (image recognition algorithm) 을 사용하여 잠재적 결함의 모양, 기능 및 기타 특성을 식별하고, 자동차 등급 AI (automotive-grade AI) 를 사용하여 표면의 위치를 분류하고 감지합니다. 또한, 고정밀 오브젝티브 렌즈가 장착 된 픽셀 정확한 형태 결함 인식 기계는 엔지니어가 가장 작은 결함으로도 문제를 식별하고 진단할 수 있도록 도와줍니다. 공간 해상도가 5 nm 인 매우 민감한 광학 도구 (optical tool) 를 사용하여 미세 구조의 매우 미세한 모양과 윤곽선을 감지 할 수 있습니다. 자산에는 자동 스캐닝 메커니즘이 있으며, 이는 최대 15 x 15cm (15 x 15cm) 의 넓은 영역에서 결함을 정확하게 감지하고 측정 할 수 있습니다. ORBOT WF 736XS는 또한 스마트 웨이퍼 인덱싱 (smart wafer indexing) 을 특징으로하며 모델을 재보정하지 않고도 여러 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 엔지니어에게 유연하게 조절 가능한 명암과 로컬 명암의 향상을 제공하여 결함 인식 (Flect Recognition) 을 향상시킵니다. 또한 컨투어 분석, 광학 근접 수정, 이미지 분류, 3D 결함 재구성 등 다양한 결함 분석 도구를 사용합니다. 또한 다양한 시각 형상 모드 (예: 확대 보기, 3D 모드) 를 사용하면 결함을 다양한 방식으로 볼 수 있습니다. 전반적으로 AMAT WF 736XS는 고급 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 극도의 정밀도로 결함을 감지하고 분석하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 이미징 기술, 고정밀 광학 시스템, 고급 결함 인식 알고리즘 (Advanced Defect Recognition Algorithm) 및 여러 시각 형상 모드를 사용하여 엔지니어가 최적의 결과를 얻기 위해 결함을 빠르고 정확하게 식별하도록 도와줍니다.
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