판매용 중고 LEICA / VISTEC INS 1000 #10628

LEICA / VISTEC INS 1000
ID: 10628
Automated Wafer Inspection systems.
LEICA/VISTEC INS 1000은 다양한 응용 프로그램에서 고해상도, 정확한 회로 기능 측정을 위해 설계된 고해상도 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템에는 고해상도 CCD 카메라, 레이저, 광학 장치가 있어 고속 웨이퍼를 최적으로 검사할 수 있습니다. 이 기계의 이전 버전에 비해 개선된 내용은 더 빠른 측정값과 더 높은 해상도입니다. LEICA INS 1000은 1.4 미크론 픽셀 크기와 최대 해상도 인 1.8K 픽셀 CCD 카메라를 사용하여 웨이퍼 표면에서 작은 결함 기능을 감지 할 수 있습니다. "레이저 '는 0.2" 미터' 의 정확도 로 몇 "나노미터 '를 측정 할 수 있다. 이 툴은 분석 (analysis) 을 수행해야 하는 wafer 의 특정 영역에 대한 이미지를 쉽게 얻을 수 있는 기능도 제공합니다. 이렇게 하면 전체 웨이퍼 (wafer) 를 측정 사이에 옮기지 않고도 결함을 신속하게 검토할 수 있습니다. 또한 에셋은 피쳐에 대해 3 개의 동작 축 (axes of motion) 을 제공하며, 연산자가 피쳐의 서로 다른 회전 각도를 보정하도록 이동할 수 있습니다. 이 모델에 포함된 소프트웨어를 사용하면 측정 결과를 신속하게 검토하고 보고서 생성 (Report) 을 수행할 수 있습니다. 보고서를 쉽게 볼 수 있도록 pdf, jpg 등의 다양한 형식으로 생성할 수도 있고, 다른 형식으로 내보내 추가 분석을 할 수도 있습니다. "웨이퍼 '검사 외 에도, 장비 는 고장 분석 에 사용 될 수 있다. 이 소프트웨어는 테스트 대상 디바이스의 모든 유형의 이미지를 분석할 수 있으며, 잠재적인 결함 또는 오류 (potential defects or error) 를 식별할 수 있습니다. 또한 시간이 지남에 따라 테스트 결과를 스팟 (Spot) 및 트렌드 비교 (Comparing Trend) 와 비교할 수 있습니다. 전반적으로, VISTEC INS1000 은 웨이퍼에 있는 기능을 정확하고 정확하게 측정하여 다양한 장치와 애플리케이션에서 고품질의 (고품질) 결함 기록 및 장애 분석 (failure analysis) 기능을 제공합니다.
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