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Crius I
System Hydride source: NH3-2, Cp2Mg-2, TMIn-2 Sources: NH3-1 TMGa-1 TMAl-1 TEGa-1 TMGa-2 TMIn-1 SiH
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Crius I
31x2" GaN System Twin EpiTT Thermal baths: (2) RM 25S and (4) RM 6S Source Configuration TMGa-1 TMG
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