판매용 중고 AIXTRON Crius I #9065474

AIXTRON Crius I은 광전자, 마이크로 전자 및 전력 전자 응용 분야에 사용할 대형 면적, 복합 반도체 재료 계층을 생산하기위한 고급, 고효율, 수평 구성, 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 크리우스 1 세 (Crius I) 는 다양한 화합물에서 고품질의 층을 생산하기 위해 가열된 전구체를 사용하는 강력한 처리 기술을 특징으로합니다. 공정 제어 (process control) 와 결합된 고효율의 전구체 전달 및 전달 균일성은 뛰어난 레이어 품질 (layer quality) 과 반복성을 제공합니다. AIXTRON Crius I은 미리 코팅 된 대상 재료를 청소하기위한 레이저 제거 공정과 기판 운송을위한 로터리 베인 밸브 (rotary vane valve) 를 통합하여 원자로 내에서 환경이없는 이동을 보장합니다. 최대 1000 ° C의 고온 작동을 통해 Crius I은 고급 재료 특성 및 장치 특성을 가진 레이어를 생성 할 수 있습니다. AIXTRON Crius I (AIXTRON Crius I) 는 기판 지원을 위해 고정밀 척을 사용하여 증착 과정에서 균일하고 일관된 웨이퍼 접착을 보장하며, 다른 증착 방법보다 증착률이 높고 레이어 특성이 향상됩니다. 폐쇄 루프 가스 흐름, 폐쇄 루프 압력 및 온도 제어, 컴퓨터 화 증착 제어 시스템은 반복 가능하고, 효율적인 프로세스 반복성과, 강력한 웨이퍼/기판 성능을 제공합니다. 또한 열파를 사용하여 전구체를 정확하게 방출 및 예금 (deposit) 하여 증착 과정 전반에 걸쳐 매우 높은 물질 균일 성을 제공하는 고급 전구체 전달 시스템 (Advanced Precursor Delivery System) 이 장착되어 있습니다. Crius I은 광범위한 2D 및 3D 반도체 구조와 장치를 빠르고 정확하게 제작하는 이상적인 도구입니다. 전자제품과 광전자제품 (optoelectronics) 에 대한 탁월한 속성을 갖춘 신형 소재· 소자 (device) 구조의 개발을 촉진해 차세대 반도체 소재· 소자 제조를 위한 완벽한 솔루션을 제공한다.