판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293586543

ID: 293586543
Wafer inspection system.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220은 웨이퍼 및 기타 반도체 재료 표면에서 입자 수준 기능을 관찰하고 분석하는 데 사용되는 주요 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 제품의 표면 (surface) 기능에 대한 세부사항을 파악하는 것이 중요한데, 반도체 제품의 성능 (Performance) 과 궁극적으로 장치의 품질 (Quality) 을 정의하기 때문이다. ADE AFS 3220은 입자, 마킹, 구조 및 기하학적 특징, 특이한 모양 등 넓은 영역에서 피쳐를 측정 할 수있는 정확하고 포괄적 인 3D 표면 도량형 솔루션을 제공합니다. 스캔 및 지형 기술을 사용하여 이러한 피쳐의 서피스 경사 (surface evenness), 너비 (width), 높이 (height) 및 곡률 반지름을 측정할 수 있습니다. KLA AFS 3220은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 이상적인 도구로 2 가지 주요 스캔 모드를 제공합니다. 첫 번째 스캐닝 (scanning) 모드는 라인 스캐닝으로, 넓은 영역에서 빠른 측정에 사용됩니다. 이 모드는 원시 모양 및 표면 지형 데이터를 매우 빠르게 캡처합니다. 두 번째 스캔 모드는 영역 스캔으로, 해상도가 높은 데이터를 보다 자세히 캡처합니다. 이 모드는 입자 서피스 피쳐를 자세히 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 이 시스템에는 고해상도 이미징 센서, 레이저 정밀 스캐닝 스테이지, 자동화된 알고리즘이 장착되어 있어 정확하고 신뢰할 수 있습니다. 또한 넓은 범위의 시야각 (field-of-view) 및 다양한 서피스 피쳐를 허용하는 높은 정확도의 Z 범위 포지셔닝 장치를 포함합니다. AFS 3220 의 주요 특징은 자동 이미징 프로세스 (automated imaging process) 로, 수동 이미징 단계를 제거하여 결과의 반복 및 재생성을 보장합니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 제공하여 교육 시간을 최소화하며, 상당한 지시 없이 신속하게 가동할 수 있습니다. 전반적으로, TENCOR AFS 3220 (TENCOR AFS 3220) 은 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 기계로, 사용자가 반도체 제품의 광범위한 입자 수준 표면 기능을 정확하게 캡처, 분석, 보고 할 수 있습니다. 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 에 대한 효율적이고 정확한 평가가 필요한 사람들에게 필수적인 도구입니다.
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