판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645328

ID: 293645328
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 1999
Wafer inspection system, 12" 1999 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220은 반도체 장치 및 재료 특성화에 최적화된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 편리하게 처리하는 특허받은 자동 로드 및 언로드 기능이 있습니다. AFS (Fully Automatic Focus Stabilization) 기술을 사용하면 WAFER (Wafer Reference and Metrology) 작업 중 Wafer 위치가 수동 조정 없이 변경되는 경우에도 자동으로 안정적인 포커스를 유지합니다. ADE AFS 3220 머신은 상단 (top) 및 하단 (bottom) 표면 스캐닝 및 이미징 기능을 모두 사용하여 사용자에게 여러 가지 강력한 도량형 기능을 제공합니다. 이 도구에 통합된 첨단 광학 기술은 기존 방법보다 더 많은 정확도와 정확성을 제공하며, 측정 반복 (measuration repeatability) 을 향상시킵니다. 고해상도 스캐닝 (scanning) 을 통해, 사용자는 마이크로 결함 및 이미징 아티팩트를 감지할 수 있으며, 이는 웨이퍼 폐기물을 크게 줄일 수 있습니다. 결함/입자 감지, 기존 CD 도량형 및 기타 자동화된 도량형 작업의 경우, 고급 소프트웨어 알고리즘을 사용하여 매우 정확한 결과를 신속하게 얻을 수 있습니다. 타의 추종을 불허하는 성능 외에도 KLA AFS 3220 웨이퍼 테스트 (wafer test) 및 도량형 자산 (metrology asset) 은 다양한 기능 및 장점 (예: 고객이 높은 정확도로 신속하게 결함을 파악하고 검증할 수 있도록 특별히 설계된 자동 결함 검토 모델) 을 제공합니다. 이 장비는 또한 샘플링 중인 제품의 유형에 따라 시스템 매개변수를 사용자 정의할 수 있는 테스트 레시피 (customizable test recipe) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 수율과 처리량을 향상시킬 수 있습니다. TENCOR AFS 3220의 다른 기능으로는 높은 정확도를 측정하기위한 매우 낮은 소음 설계와 종합적인 웨이퍼 등록, 하위 픽셀 정렬, 결함 감지 및 검증을 위한 고급 비전 장치 (Advanced Vision Unit) 가 있습니다. 결국, AFS 3220 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계는 장치 및 재료 특성화를위한 효율적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 상하 표면 스캐닝, 고급 초점 안정화 기술, 자동화된 결함 검토 도구, 맞춤형 테스트 레시피, 초저소음 디자인, 고급 비전 자산 (Advanced Vision Asset) 등을 갖춘 이 모델은 사용자에게 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다.
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