판매용 중고 ADE / KLA / TENCOR AFS 3220 #293645327
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ID: 293645327
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2021
Wafer inspection system, 12"
Flatness measuring
2021 vintage.
ADE/KLA/TENCOR AFS 3220은 반도체 부품의 높은 정확도, 높은 처리량 측정 및 테스트를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 제조 공정 전반에 걸쳐 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 품질을 처음부터 끝까지 평가하고 모니터링할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 을 위한 포괄적인 기능을 제공하며 운영 환경을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 최대 160 메가 픽셀 해상도의 이미지를 생성 할 수있는 높은 정확도, 고속 CCD 이미징 엔진을 갖추고 있습니다. 이 강력한 이미징 엔진은 고정밀 레이저 (high-precision laser) 와 광학 머신 (optical machine) 과 결합하여 반도체 웨이퍼의 중요한 기능을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 정밀 레이저 도구 (precision laser tool) 는 0.4 마이크로미터 정도의 작은 피쳐를 측정하고 정확한 정렬 및 반복성을 위해 웨이퍼 서피스를 올바르게 참조할 수 있습니다. 이 자산은 결함 분석 도구 (defect analysis tools) 로 다양한 반도체 결함을 감지 할 수 있습니다. 고급 패턴 인식 (Advanced Pattern Recognition) 기술을 사용하여 크기, 형태, 위치 등 다양한 매개변수에서 결함을 정확하게 식별하고 분류합니다. 이 모델에는 고급 OCD (Overlay and Critical Dimension) 컨트롤이 있으며 높은 정확성과 반복성으로 다이 투 다이, 웨이퍼 투 웨이퍼 및 다이 투 웨이퍼 오프셋을 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 모든 웨이퍼 측정은 일관되고 신뢰할 수 있습니다. ADE AFS 3220 의 포괄적인 보고 및 분석 툴은 제조 프로세스에 대한 실질적인 통찰력을 제공합니다. 프로세스 엔지니어가 프로세스 문제를 신속하게 파악하고 해결할 수 있도록 운영, 수율, 품질 데이터에 대한 자세한 통계 분석을 제공할 수 있습니다 (영문). 이 장비에는 또한 운영 데이터의 실시간 시각화 (Visualization) 를 제공하는 디스플레이 도구 (Display Tools) 가 포함되어 있어 동향 및 프로세스 문제를 신속하게 파악할 수 있습니다. 요약하면, KLA AFS 3220은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 생산 환경에서 높은 정확도를 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 결함을 감지 할 수 있으며, 포괄적인 보고 및 분석 도구 (Reporting and Analysis Tools) 는 제조 공정에 대한 정확한 통찰력을 제공합니다.
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