판매용 중고 ENTEGRIS NU-J6101 #293594350

ENTEGRIS NU-J6101 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 ENTEGRIS Inc.에서 민감성 반도체 및 포토 마스크 기판을 처리 및 청소하기 위해 설계 한 전문 청소 장비입니다. 이 도구는 여러 가지 클리닝 사이클 (cleaning cycle), 화학 처리 (chemical treatment) 및 고급 로봇 공학 (advanced robotics) 을 사용하여 반도체 및 포토 마스크 산업에 사용되는 가장 일반적인 재료를 포함하여 다양한 미디어에 대한 최적의 클리닝 결과를 제공합니다. NU-J6101 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 특허를받은 1 단계 스크러빙 솔루션을 사용하여 비접촉 청소 방법을 제공하여 기판 무결성을 보장합니다. 고급 로봇 암 (Advanced robotic arm) 은 선반에서 기판을 잡고 필요에 따라 로봇 스테이션 사이에서 움직이는 데 사용됩니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 마이크로 에치 (micro etch) 와 탈 이온화 된 물 린스 (deionized water rinse) 를 포함한 각 기판에 최적의 청소 프로세스를 제공합니다. 마이크로 에치 (micro etch) 동안, 화학제, 탈이온화 된 물 및 초음파 에너지의 조합은 축적 및 오염 물질을 제거하는데 사용된다. 마이크로 에치 (micro etch) 후, 로봇 암은 기질을 다른 암으로 회전시켜, 나머지 오염 물질을 제거하기 위해 고순도 탈이온화 된 물로 기질을 린징시킨다. 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (wafer and mask scrubber) 는 또한 스크러빙 프로세스를 실시간으로 지속적으로 모니터링하고 제어하는 고급 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 전송 중 과도한 진동 (Excessive Vibration) 과 같은 모든 이상을 감지하고 필요한 경우 시스템을 자동으로 종료할 수 있습니다. 또한, 스크러버의 고급 컴퓨터 제어 도구 (advanced computer control tool) 를 통해 정확한 스크러빙 패턴 제어를 통해 사용자는 특정 클리닝 프로세스에 대한 에셋을 프로그래밍할 수 있습니다. 이 청소 공정의 최종 결과는 완벽하게 깨끗한 웨이퍼 또는 포토 마스크 (photomask) 입니다. 여기 에는 입자 나 오염 물질 을 제거 하는 것 이 포함 되는데, 여기 에는 너무 작아서 육안 으로 볼 수 없는 것 들 이 포함 된다. 그렇다. 최종 제품 이 완전 히 정리 된 기판 이기 때문 에, 이 기계 는 제조업자 들 이 고품질 "포토마스크 '와" 반도체' 에 투자 할 수 있게 해 주며, 이것 은 민감 한 "디지털 데이터 '가 필요 한 모든 계획 에 필수적 이다. ENTEGRIS NU-J6101 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 모든 반도체 또는 디지털 제조 공정에 필수적인 도구입니다. 이 모델의 혁신적인 스크러빙 기술과 정확한 로봇 제어 (robotic control) 는 최고 품질의 웨이퍼 (wafer) 와 포토 마스크 (photomask) 를 보장합니다.