중고 ENTEGRIS (웨이퍼 & 마스크 스크러버) 판매용
반도체 업계의 선두 제조업체인 엔테그리스 (Entegris) 는 반도체 제조 공정에서 고품질의 성능을 달성하는 데 필수적인 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 스크러버를 제공합니다. 이들 "스크러버 '는" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 위한 효과적 인 청소" 솔루션' 을 제공 하여 "칩 '수율 과 전체 장치 성능 에 부정적 으로 영향 을 줄 수 있는 오염 물질 과 입자 를 제거 한다. Entegris의 웨이퍼 스크러버 (wafer scrubber) 는 기계 스크러빙 및 화학 클리닝 방법을 결합한 고급 클리닝 기능을 제공합니다. 이 시스템은 입자, 유기 및 무기 오염 물질, 금속 이온을 웨이퍼에서 제거하여 전체 웨이퍼 수율을 향상시키도록 설계되었습니다. "스크러버 '의 특허 를 받은" 브러쉬' 설계 는 "웨이퍼 '표면 을 손상 시키지 않고 입자 를 효율적 으로 제거 해 준다. 마찬가지로 Entegris의 마스크 스크러버는 photomask 청소를 위해 특별히 설계되었습니다. 이러 한 "스크러버 '들 은" 포토마스크' 에서 입자 와 오염 물질 을 제거 하여 리소그래피 과정 중 에 "웨이퍼 '에 전달 되는" 패턴' 의 높은 정확도 와 질 을 보장 한다. 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 독특한 브러쉬 기술을 사용하여 마스크를 손상하거나 저하시키지 않고 효율적인 클리닝을 달성합니다. Entegris의 웨이퍼 스크러버의 인기있는 예는 NU-J6101입니다. 이 스크러버는 고성능 스크러빙 (scrubbing) 및 클리닝 기능을 제공하여 우수한 결과를 제공하고 웨이퍼 수율을 최적화합니다. 엔테그리스 (Entegris) 는 또한 다양한 웨이퍼 크기와 특정 청소 요구 사항을 충족하는 다양한 다른 모델 및 구성을 제공합니다. Entegris의 웨이퍼 및 마스크 스크러버의 주요 장점은 고급 청소 기술, 효율적인 입자 제거, 다양한 청소 화학과의 호환성입니다. 이러한 스크러버 (스크러버) 는 반도체 제조 공정에서 높은 수율과 신뢰성을 보장하므로 일관되고 뛰어난 장치 성능을 제공합니다.
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