판매용 중고 ATM Top-Mount #189538

ATM Top-Mount 는 효율적이고 안정적인 Wafer 처리를 안전하고 효율적인 방식으로 수행할 수 있는 Wafer Handler 입니다. 이 유형의 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 상단로드 작업 메커니즘입니다. 즉, 웨이퍼 (Wafer) 가 측면에서 로드되는 측면 로딩 대신 장치 상단에서 로드됩니다. 사이클로이드 운동이 최대 240 ° 인 진공 암 (vacuum arm) 이 특징이며, 이는 웨이퍼를 쉽게 이동 할 수 있습니다. 처리 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 웨이퍼 (wafer) 표시 각도가 있습니다. Top-Mount는 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계되었으며 실리콘, 유리, 쿼츠, 세라믹 및 사파이어 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 유형으로 작동 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 안정적인 작동을 보장하기 위해 내구성과 내구성이 뛰어난 알루미늄 합금 프레임 구조를 가지고 있으며, 최대 14 kg (30.9 lbs) 의 작동 하중을 제공합니다. 최대 125mm/sec의 속도를 가지며, 웨이퍼 처리에서 높은 수준의 정확성과 정밀도를 제공합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 충돌 또는 손상 위험없이 웨이퍼를 처리 스테이션으로 정확하게 이동하기 위해 웨이퍼 위치를 감지 할 수있는 광학 동작 감지 장치 (optical motion sensing unit) 가 포함되어 있습니다. 이 장치는 최소 간격이 0.05mm (0.002 인치) 인 각도에서 웨이퍼 위치를 감지 할 수 있습니다. ATM Top-Mount의 로봇 암은 0.02mm (0.001 인치) 의 정확도로 작동합니다. 또한 열 안정화, 입자 여과 및 위생 기능이 있습니다. 온보드 제어판은 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 터치스크린 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 Top-Mount 웨이퍼 핸들러는 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 매우 안정적이고 효율적인 웨이퍼 처리 솔루션입니다. 사용하기 쉽고 웨이퍼 (wafer) 이동의 정확성과 정확성을 제공하며, 열 및 위생 공정 상태도 유지합니다. 로봇 암은 높은 정확도로 최대 240 ° 사이클로이드 (cycloid) 동작이 가능하며, 장치의 온보드 제어판은 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다.