판매용 중고 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 SPAW #9194322
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SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 SPAW는 반도체, 평면 패널 디스플레이, 광학 기계 및 관련 산업을 위해 설계된 다기능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 제품은 마무리 연마 광학 표면 (finish-polishing optical surfaces) 에서 중정밀 연삭 응용 프로그램 (medium precision grinding application) 에 이르기까지 다양한 작업을 처리 할 수있는 고급 시스템입니다. SPEEDFAM 32 SPAW는 스핀들 드라이브를 갖춘 메인 그라인딩 장치 (최대 13,500 rpm) 와 4 위치 웨이퍼 체인저 (wafer changer) 로 구성됩니다. 주 장치의 설계는 정확성과 반복성을 위해 디지털 정밀 선형 (digital precision linear) 드라이브를 통합합니다. 4 위치 웨이퍼 체인저를 사용하면 빠르고 효율적인 워크플로가 가능합니다. 이 장치는 4--8-웨이퍼의 최대 테이블 이동량이 180mm입니다. 이 기계는 또한 4 축 프로그래밍 가능한 SIP 분할기 (SIP Divider head) 를 포함하며, 이는 다양한 크기와 유형의 웨이퍼를 수용하기 위해 분할력의 수동 또는 자동 조정이 가능합니다. SPAW의 최소 웨이퍼 두께는 1mm이며 최대 8--10-wafers를 처리 할 수 있습니다. 또한 수평 구동이있는 멀티 태스크 다이아몬드 휠 (multitask diamond wheel) 이 있으며, 다이아몬드 휠 제형이 다른 2 ~ 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있으며, 다양한 응용 분야에 적합합니다. 또한 SPAW 는 "와퍼 '에 냉각제 를 분배 하기 위한" 스위벨' 어댑터 와 "노즐 '을 포함 하여 개선 된 유체 처리 도구 를 갖추고 있다. 유체 처리 자산 (fluid handling asset) 은 최적의 프로세스를 위해 올바른 양의 냉각제가 웨이퍼에 분배되도록 보장합니다. 이 모델에는 가변 주파수 드라이브 (Variable Frequency Drive) 가 장착되어 있어 스핀들 속도를 조절하여 정밀도 및 반복 성을 향상시킬 수 있습니다. 주파수 드라이브 (Frequency Drive) 는 전원 공급 장치 변동을 보완하여 신뢰할 수 있는 작동 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 4 개의 독립적이고 제어 가능한 제품 냉각 시스템 (cooling system) 이 포함되어 있어 열 충격의 위험을 줄이고 일관된 부품 품질을 보장합니다. 또한, 이 장치에는 다양한 특수 비품, 공압 지그 (pneumatic jig) 및 프로그래밍 쉬운 함수가 포함되어 있습니다. 즉, 연산자가 다른 작업을 위해 기계를 쉽게 설정할 수 있습니다. PETER WOLTERS 32 SPAW 도구는 신뢰할 수 있고 사용자 친화적 인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 다양한 산업에서 사용하도록 설계되었습니다. 유체 처리 모델 (fluid handling model), 제품 냉각 (product cooling) 등 다양한 고급 기능을 통합하여 사용자가 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있도록 지원합니다.
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