중고 SPEEDFAM / PETER WOLTERS (웨이퍼 그라인더, 랩퍼 & 폴리셔) 판매용

SpeedFam/Peter Wolters는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비의 저명한 제조업체입니다. 이 시스템은 반도체 제조에 사용되는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 를 포함하여 다양한 재료 및 응용 분야에 대한 고정밀 처리를 달성하도록 설계되었습니다. 그들의 유명한 단위 중 하나는 32 BGW이며, 이는 웨이퍼 그라인딩 시스템입니다. 뛰어난 안정성과 정밀도를 위해 유체 정역학적 분쇄법 (hydrostatic grinding spindle) 과 같은 고급 기능을 제공합니다. 32 BGW는 직경이 최대 300mm 인 대형 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 이를 통해 생산이 효율적입니다. 랩핑의 경우 32 SPAW 시스템이 인기있는 선택입니다. 연마제 슬러리로 채워진 유체로 채워진 기구를 사용하여 정확한 랩핑 제어를 제공합니다. 이 시스템은 웨이퍼 및 기타 재료에 대한 평평함 (flatness) 및 서피스 거칠기 (surface roughness) 요구 사항을 달성하는 데 매우 효율적입니다. 연마 측면에서 32 BTAW 시스템이 두드러집니다. 이중 행성 설계를 활용하여 생산성과 일관성을 향상시킵니다. 이렇게 하면 웨이퍼 양면을 동시에 연마 (polishing) 하여 처리량이 높아지고 표면 품질이 향상됩니다. 이 SpeedFam/Peter Wolters 머신은 뛰어난 정확도, 프로세스 안정성 및 높은 생산성을 포함한 여러 가지 장점을 제공합니다. 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 도구의 다른 예로는 32 DSN 및 AC-465가 있습니다.