판매용 중고 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 SPAW #9074540
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SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 SPAW는 반도체 웨이퍼 초정밀 머시닝을 달성하기 위해 사용할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 초박형 웨이퍼를 마이크로 일렉트로닉 생산 (microelectronic production) 에 적합한 수준의 품질로 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 비전 시스템 (Vision System), 통합 개발 소프트웨어 (Integrated Development Software) 및 자동 측정 시스템 (Automated Measurement System) 과 같은 기능을 통해 높은 수준의 자동화를 제공합니다. 최대 6 미크론 공차와 매우 타이트한 평탄도 사양을 달성 할 수 있습니다. 기계 는 전도성 "실리콘 '에서 음극" 알루미늄' 에 이르기 까지 여러 가지 재료 를 처리 할 수 있다. 공구는 공정 챔버, 연마 테이블, 스핀들 및 제어판으로 구성됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 연마 테이블을 포함하는 밀봉 된 금속 인클로저로, 베어링에 장착되고 외부 모터로 구동되는 마그네슘 합금 플레이트로 구성됩니다. 이것은 부드럽고 일관된 연삭, 랩핑 및 연마 동작을 보장하도록 설계되었습니다. 스핀들 (spindle) 은 파퍼를 연마하는 데 필요한 힘을 제공하는 고정밀 고속 스핀들입니다. 저진동 작동 및 매우 높은 스핀들 수명 (spindle life) 을 제공하는 독특한 더블 베어링 디자인의 강화 된 스틸 (hardened steel) 로 만들어집니다. 제어판 (Control Panel) 은 에셋의 모든 설정을 조정하는 곳이며, 연산자가 속도, 압력, 시간을 제어할 수 있도록 합니다. 또한 제어판 (Control Panel) 에는 프로세스 모니터링, 결과 분석, 다양한 웨이퍼 유형에 대한 프로그램 설정 최적화에 사용되는 통합 개발 소프트웨어 (Integrated Development Software) 가 있습니다. 이 모델은 반도체 웨이퍼의 정밀 머시닝을 위해 설계되었으며, 탁월한 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 반도체 업계의 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 최대 6 미크론 (micron) 의 허용치와 0.5 미크론 (micron) 의 평탄도 사양으로 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 자동화 (automation) 및 공정 제어 기능을 통해 고급 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치 제작에 이상적인 선택이 됩니다.
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