판매용 중고 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BTAW #9286177
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SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BTAW는 얇은 웨이퍼 및 기판 생산을 위해 설계된 다기능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다양한 주변 장치를위한 연삭/피치 연마 장치, 랩핑 (부드러운 표면 마감이 달성 될 때까지 재료를 절단하기 위해 연마 용지 사용 공정) 및 고품질 표면 마감을위한 다이아몬드 랩핑 (랩핑 및 연마 방법 조합) 및 연마 (미러 같은 마무리 달성) 로 구성됩니다. 연마 된 웨이퍼). 또한 균일 한 처리를위한 통합 기판 홀더가 특징입니다. 이 장치는 거친 연마에서 가장 정확한 거울 같은 마무리까지 광범위한 연삭, 랩핑 및 연마 전략을 제공합니다. 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding) 및 랩핑 (lapping) 프로세스에는 웨이퍼에서 얇은 재료 레이어가 제거됩니다. 피치 플레이트 (pitch plate) 는 기계적으로 진동 동작을 웨이퍼로 전송하는 데 사용되며, 연마제 (alrasive material) 는 재료를 제거하고 원하는 서피스 프로파일을 생성합니다. 랩핑 및 연마 단계는 재료와 다이아몬드 연마 마모로 구성된 슬러리 (slurry) 로 수행됩니다. 랩핑 (lapping) 프로세스는 점진적으로 증가하는 기교와 함께 반복되어야하는 일련의 단계를 따릅니다. 마지막 단계는 광택 표면을 거울 모양의 마무리로 매끄럽게 만드는 연마 단계 (polishing step) 입니다. SPEEDFAM 32 BTAW 머신은 정확성과 재생성이 높은 얇은 웨이퍼를 생산할 수 있도록 설계되었습니다. "웨이퍼 '의 크기 를 검출 하는 통합" 레이저' 도구 를 사용 하면 정확 한 크기 조절 을 할 수 있다. 이 자산은 수동 프로세스의 시간과 낭비를 줄이고 비용을 절감합니다. 이 모델은 TCO (총소유비용) 가 낮은 웨이퍼를 랩핑하는 다용도 및 신뢰성 있는 도구입니다. 이 기계는 정확한 반복성, 정확성 및 신뢰성을 제공하면서 일관된 품질 결과를 생성합니다. 그것 은 "실리콘 ', 금속 및 기타 재료 와 같은 광범위 한 재료 에 적합 하다.
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