판매용 중고 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #9194316

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW는 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 기계 는 습식 "그라인더 '의 높은 처리량 과" 랩핑' 기계 의 정밀도 를 결합 시켜, 높은 정도 의 정확도 와 반복성 을 지닌 "웨이퍼 '에 매끄럽고 균일 한 표면 을 생성 한다. 이 시스템은 특수 다이아몬드와 흑연 결합이있는 다이아몬드 그라인딩 휠 (diamond grinding wheel) 을 사용하여 절단 효율성 및 긴 도구 수명을 증가시키는 2 스테이션 그라인딩 스테이지를 사용합니다. 바퀴는 빠른 속도로 회전하여 웨이퍼 표면을 미세하게 갈습니다. 초기 연삭 단계 후, 제 2 스테이션 (second station) 을 사용하여 미세 연마 페이스트를 적용하고 연마 과정을 마칩니다. 이 장치에는 고급 프로세스 모니터링 장치 (Advanced Process Monitoring Unit) 도 포함되어 있으며, 부품 속도와 연마 프로세스의 매개변수에 대한 피드백을 제공하여 전체 시스템의 정확성과 반복성을 보장합니다. 또한, 공구는 각 랩핑 헤드를 개별적으로 제어할 수 있으므로 부품의 최종 치수 (final dimensions) 와 형태 (shape) 를 정확하게 제어할 수 있습니다. 최종 표면의 균일성을 보장하기 위해 SPEEDFAM 32 BGW에는 웨이퍼 청소 자산도 장착되어 있습니다. 이 모델은 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding) 및 연마 과정에서 픽업되었을 수있는 오염 물질을 제거하는 데 사용됩니다. 부품 포지셔닝 메커니즘 (Part Positioning Mechanism) 및 최종 이펙터 (End-effector) 와 같은 장비의 통합 자동화 구성 요소는 빠르고 정확한 주기 시간을 제공하도록 설계되었으며, 직관적인 컨트롤을 통해 운영자가 쉽게 사용할 수 있습니다. PETER WOLTERS 32 BGW는 최대 4 개의 생산 레벨 랩핑 헤드를 지원할 수 있으며, 최대 연삭 및 연마 속도는 2000 rpm입니다. 전반적으로 32 개의 BGW 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템은 정확성과 반복성이 높은 웨이퍼에 매끄럽고 균일 한 표면을 생산하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 사용자 친화적인 제어 기능, 사용이 간편한 자동화 솔루션, 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 기능을 통해 광범위한 반도체 제조 어플리케이션에 적합합니다.