판매용 중고 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #9194310

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW는 세계 최고의 고성능 연삭 및 연마 솔루션 제공 업체 중 두 곳이 만든 고정밀 '웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마' 장비입니다. 최대 가공소재 크기가 500mm 인 다양한 반도체, IC 및 기타 섬세한 부품을 마무리 및 연마하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 최대 5 면의 얇은 웨이퍼를 동시에 처리하도록 설계된 단일 용도 시스템입니다. 빠른 변경 웨이퍼 홀더를 통해 조정 가능한 스윙 암 툴링과 자동 로드/언로드가 있습니다. 이 장치는 유연 작업 범위 (Flexible Work Envelope) 로 설계되어 프로세스 챔버를 신속하게 재구성하고 수동 단계 (Manual Steps) 를 자동화된 작업으로 대체할 수 있습니다. 이렇게 하면 다양한 툴링 구성을 활용할 때 시스템 유연성이 대폭 향상되고 구성 요소 로드/언로드 (loading/unloading) 와 같은 프로세스를 자동화할 수 있습니다. 이 도구 는 또한, 연약 한 "웨이퍼 '를 처리 할 때" 오퍼레이터' 의 안전 을 위한 여러 가지 안전 장치 를 제공 하는 견고 한 안전 자산 을 제공 한다. SPEEDFAM 32 BGW는 최대 25,000 rpm을 생산할 수있는 고정밀 S45-16 스핀들을 특징으로하며, 웨이퍼의 정확한 위치를 지정하기 위해 동적으로 균형 잡힌 로터리 테이블을 제공합니다. 고정밀 공구 홀더는 채터 (chatter) 를 줄이고, 진동을 제거하며, 머시닝 작업을 안전하고 일관되게 유지하도록 설계되었습니다. 또한 고주파 랩핑 헤드 (lapping head) 를 사용하여 필요한 연마 결과를 달성하며, 대부분의 웨이퍼 크기에 대한 수동 및 공압 보유 도구 (manual and pneumatic holding tools) 도 포함되어 있습니다. 장비에는 피드백 및 교정 단계에 대한 추가 제어를 위한 CNC (Computer Numerical Control) 인터페이스 (옵션) 가 있습니다. PETER WOLTERS 32 BGW 시스템은 웨이퍼, 직사각형 조각, 복잡한 모양 등 다양한 부품을 연삭, 랩 및 연마 할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 장착되어 있어 재료 제거 속도에 대한 자세한 프로세스 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 진동 소스를 모니터링하고 분리하기위한 통합 스핀들 진동 모니터링 머신 (spindle vibration monitoring machine) 을 갖추고 있습니다. 이는 전체 작업 봉투 전체에서 일관된 생산 속도를 유지하는 데 도움이됩니다. 32 BGW 의 견고한 설계 를 통해, 폭 넓은 "웨이퍼 '와 구성 요소 를 정확 하게 연마 하고," 랩핑' 하고, 연마 할 수 있다. 고정밀 스핀들 (spindle) 과 공구 홀더는 일관되게 정확한 결과를 제공하는 반면, 고급 안전 시스템 (safety system) 과 동적 작동 (dynamic operation) 은 안전하고 안정적인 작업 환경을 제공합니다.