판매용 중고 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #293800527

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 평면, 평면 평행 및/또는 로컬로 지정된 표면의 생산을위한 양면, 다중 헤드 랩핑/연마 기계입니다. 이 시스템은 초평면 (2um 수준) 및 고정밀 (> 1um) 반도체 웨이퍼 생산을위한 우수한 표면 마무리를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 우수한 기계적 (mechanical) 기능과 기술적 (technological) 기능을 결합한 엔지니어링 설계를 갖추고 있습니다. 다재다능한 랩핑 및 연마 헤드는 더 큰 웨이퍼 직경 (wafer diameter) 에 대한 다양한 응용 프로그램 및 사양에 맞게 설계되었습니다. 여기에는 웨이퍼 랩핑 및 연마 작업, 베벨 링, 두꺼운 연마 및 후처리, 평면 화 및 거친 연마 등이 포함됩니다. SPEEDFAM 32 BGW 머신은 고급 디지털 제어 및 프로그래밍 기능도 사용합니다. 프로그램 가능한 출력 및 매개 변수 (예: 기계 주기 시간, 주기당 단계 수, 속도 조정, 수평/수직 랩) 는 모두 사용자 친화적 인터페이스로 설정할 수 있습니다. PETER WOLTERS 32 BGW에는 독특한 슬라이드 설정 메커니즘이 장착되어 있어 랩핑 및 연마 플레이트를 빠르고 정확하게 조정 할 수 있습니다. 또한 레시피 관리 에셋 (레시피 관리 에셋) 도 포함되어 있습니다. 레시피 (레시피) 는 레시피를 저장하고 관리하며 프로세스 매개변수를 최적화하는 데 도움이 됩니다. 이 모델은 프로세스 결과를 인쇄하고 통계적 프로세스 제어를 유지할 수도 있습니다. 32 BGW 에는 또한 "웨이퍼 '처리 장치 가 들어 있는데, 이 장치 는" 웨이퍼' 를 슬라이드 에 정확 하게 배치 하는 데 사용 된다. 장비는 최대 450 mm의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며, 최대 10 mm의 웨이퍼 직경 범위는 2 mm입니다. 자세한 피치 제어를 위해 완전히 프로그래밍 가능한 로터리 피더도 포함되어 있습니다. 전반적으로 SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGW 시스템은 반도체 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 최적화 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 솔루션입니다. 고급 기능, 디지털 컨트롤 (Digital Control) 및 레시피 관리 장치 (Recipe Management Unit) 를 통해 머신은 반복 가능한 프로세스 결과를 가진 우수한 표면을 제공 할 수 있습니다.