판매용 중고 HAMAI 9BF #9166541

ID: 9166541
빈티지: 1998
Polisher Surface plate: φ700 1998 vintage.
HAMAI 9BF는 아트 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비의 상태입니다. 이 정확하고 효율적인 시스템은 두 세계 중 최고 (고품질 마감, 연마 정확도 및 비용 절감) 를 결합합니다. 9BF는 로봇 로더, 연삭/랩/연마 (GLP) 모듈, 벨트 드라이버, 스톤 트레이 및 슬러리 순환기로 구성된 완전 자동화 장치입니다. 로봇 로더는 정확한 연삭/랩/연마 모듈로 웨이퍼를 조립하고 공급합니다. GLP 모듈은 초고속 다이아몬드 연마 벨트를 사용하여 빠르고 정확하게 연마, 랩 및 폴링 웨이퍼를 사용합니다. GLP 모듈에 의해 생성 된 미세 입자는 닫힌 슬러리 순환기 (closed slurry circulator) 를 사용하여 수집되고 벨트의 잔여 파편에서 필터링된다. 돌을 구동하는 순환 기압 (cyclic air pressure) 은 재 랩핑이 시작되기 전에 잔해가 완전히 제거되도록 보장합니다. 로봇 로더는 가능한 한 짧은 시간에 최대 500 개의 웨이퍼를 적재 할 수 있습니다. 특수 "드라이브 '기계 는" 웨이퍼' 크기 나 모양 이 다양 할 때 에도 "로봇 로더 '를 정확 하게 유지 한다. 특수 드라이브 비율은 또한 소음 및 진동을 최소화하여 연삭/랩/연마 과정을 더 효율적이고 조용하게 만듭니다. 벨트 드라이버는 GLP 모듈이 일관되고 정확하게 작동하는지 확인합니다. 이 석조 "트레이 '는 연마," 랩핑', 연마 "웨이퍼 '등 의 긴 하루 가 지난 후 에도 완전 한 모양 을 유지 할 수 있는 완전 한 환경 을 갖추고 있다. HAMAI 9BF의 높은 부피 유량 (high volume flow rate) 은 슬러리 순환기가 연삭, 랩핑 및 연마 과정 후에 남은 모든 잔해와 입자를 수집하도록 보장합니다. 전반적으로, 9BF는 크기나 모양의 웨이퍼를 효율적으로 연마하기위한 이상적인 도구입니다. 로봇 로더, GLP 모듈, 벨트 드라이버, 스톤 트레이 및 슬러리 순환기 (slurry circulator) 의 조합, 검토 자산은 와퍼를 정확성과 속도로 연마하는 동시에 전통적인 그라인딩, 랩핑 및 연마 기술보다 비용을 절약 할 수 있습니다.
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