판매용 중고 HAMAI 9BF #9166536

ID: 9166536
빈티지: 2007
Polisher 2007 vintage.
HAMAI 9BF Wafer Grinding, Lapping & Polishing 장비는 반도체 웨이퍼 재료의 연삭, 랩 및 연마를 위해 설계된 반자동 시스템입니다. 이 장치는 DAF (> 10FF) 에서 초소형 (< 1FF) 까지 다양한 재료 서피스에서 연삭 또는 랩핑 작업을 수행 할 수 있습니다. 9BF는 사용하기 쉬운 경제적인 머신으로, 반도체 웨이퍼 생산에서 수동 연삭, 랩핑, 연마 단계를 제거 또는 크게 줄입니다. 이 도구는 Rotronic HAMAI 9BF 컴포넌트, 외부 교반기 및 교환 가능한 결정 재료 키트의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 9BF Rotronic 구성 요소에는 연삭 및 연마 과정에서 척 속도와 수직 리프팅을 조정하기 위해 작업자, 정밀 모터, High Precision Chuck 및 Opto Bedding Asset이 포함됩니다. 또한 옵토 침구 모델 (Opto Bedding Model) 을 사용하면 긴급 상황이나 수동 연삭 시 수동 조작을 쉽게 전환할 수 있습니다. 외부 교반기 (external agitator) 는 연삭 또는 랩핑 과정에서 밀봉 된 재료 키트를 고정하고 회전시키는 데 사용됩니다. 이것 은 "그라인딩 '과" 랩핑' 재료 를 "웨이퍼 '표면 에 균일 하게 적용 하여 공기 공백 을 제거 하고 연마 결과 를 향상 시킨다. 재료 키트는 다른 응용 프로그램에서 상호 교환할 수 있습니다. HAMAI 9BF 장비는 배치 처리를 위해 설계되었으며, 단일 설정은 최대 30 분이 소요됩니다. 이 시스템은 단일 설정에서 최대 50 개의 웨이퍼로 작동하며 연삭, 랩핑, 연마 작업을 동시에 수행할 수 있습니다. 정밀 모터는 균일 한 웨이퍼 회전을 허용하며, 조정 가능한 척 속도 (chuck speed) 는 재료 키트가 적용되면 균일 한 그라인딩/랩핑 및 연마가 보장됩니다. 사용자 친화적 인 터치 스크린 디스플레이 (Touch Screen Display) 와 전용 컨트롤 덕분에 다양한 매개변수의 수동 (Manual) 조정을 최소화할 수 있습니다. 연삭/랩핑 작업은 재료 키트를 변경하여 매우 거친 평탄도에서 초소형 평탄도 (ultra-smooth flatness) 로 쉽게 조정할 수 있습니다. 이 다양성을 통해 9BF는 다양한 기판, 웨이퍼 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 장치는 좁은 참호에서 액체 damag 도메인에 이르기까지 다양한 지역에 걸쳐 재료를 처리 할 수 있습니다. 완료되면, 연삭/랩핑 된 재료를 낮은 표면 거칠기를 유지하면서 거울 모양의 마무리로 연마 할 수 있습니다. 그 후, 연마 된 웨이퍼는 웨이퍼 제작을위한 추가 처리 단계로 옮겨지거나 Device Manufacturing, LCD 및 OLED Manufacturing, Photovoltaic Cell Production과 같은 응용 프로그램에서 사용될 수 있습니다. 요약하면, HAMAI 9BF Wafer Grinding, Lapping & Polishing Machine은 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 반자동 도구입니다. 정밀 모터는 균일 한 연삭, 랩핑 및 연마 (polishing) 를 보장하는 반면, 교환 가능한 재료 키트는 다양한 응용 요구 사항에 대한 유연성을 제공합니다. 사용자 친화적 인 터치 스크린 (touch screen) 과 전용 컨트롤은 수동 조정을 최소화하여 대용량 생산에 이상적인 자산입니다.
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