판매용 중고 HAMAI 16B #9252227

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ID: 9252227
Polishing machine With polishing plate 2008 vintage.
하마이 16B (HAMAI 16B) 는 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 탁월한 일관성과 품질로 매우 정밀하게 완성 된 웨이퍼 표면을 제공합니다. 이 시스템은 평면 및 곡면 응용 모두에 독특한 2 단계 연삭 공정을 사용하여 저밀도, 고밀도, 초고밀도 웨이퍼 투영 및 연마 (PPCP) 등 다양한 기판 금속 마무리를 지원합니다. HAMAI 16 B 장치는 매끄럽고 정확한 동작 제어를 위해 무거운 듀티 주철 부품과 사전 장착 된 서보 모터로 제작되었습니다. 최적 성능을 위해 정확한 온도 모니터링 및 피드백을 위해 디지털 루프 (closed loop) 온대 제어 머신도 포함되어 있습니다. 2 단계 연삭 도구는 일정한 토크, 가변 각도 연삭 헤드 및 스윙 암 모터 스피드를 갖춘 정밀 스윙 암 (swing-arm) 설계를 통해 신속하지만 정확한 웨이퍼 표면 변조 및 마무리를 보장합니다. 이 자산은 초저면 거칠기 요구 사항을 가진 컴포넌트를 생산할 수 있으며, 최대 ± 1nm 피치 정확도를 허용하며, 다이 사이즈 거부 범위는 70õm 이하입니다. 16B는 또한 섬세한 저강도, 매우 얇고 쌓인 반도체 재료 층을 위해 조절 가능한 그라인딩 휠 속도를 갖추고 있습니다. 휠 속도는 10 ~ 250rpm에서 조절 할 수 있으며, 기판 온도가 너무 높아지지 않도록 수냉식 (water-cooling) 이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 단색 도량형 장비 (Monochromatic Metrology Equipment) 가 장착되어 있어 완성 된 웨이퍼 (Wafer) 기능의 정확성을 보장하며, 점점 더 까다로운 제작 및 어플리케이션에 이상적입니다. 작동 환경 온도 범위 (0 ~ 40 ° C) 와 상대 습도 범위 (20% ~ 80%) 로, 이 연삭 및 랩핑기는 작업을 완료하기에 완벽한 만능 기계입니다.
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