판매용 중고 DISCO RS-03-2-2 / 4P #9142774

DISCO RS-03-2-2/4P는 얇은 실리콘 및 사파이어 웨이퍼 생산에 사용되는 다기능 분쇄, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 최대 4 개의 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 작업을 동시에 수행하도록 설계되었으며 반복 가능한 공정에서 고품질 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. 이 장치는 다이아몬드 연마 디스크 (diamond alrasive disc) 와 고체 연마 패드 세트를 사용하여 원하는 마무리를 달성합니다. "웨이퍼 '의 연삭 과 연마 는 반도체, 광전자 공학 및 기타 산업 에 사용 되는 여러 가지 기술 을 위한 제조" 웨이퍼' 의 중요 한 단계 이다. 공정의 높은 정확성과 반복 성 (repeatability) 은 생산 된 웨이퍼의 전체 품질에서 중요한 요소입니다. RS-03-2-2/4P는 강력한 연삭 및 연마 플랫폼과 함께 필요한 액세서리 및 컨트롤로 구성됩니다. 이 기계는 2 개의 선형 모터 구동 그라인딩 헤드와 2 개의 가변 주파수 모터 구동 연마 헤드를 사용하며, 각 헤드는 프로그래밍 가능한 속도와 압력을 제공합니다. 머리는 독립적으로 작동하므로, 두 프로세스 사이에 보간 (interpolating) 과 같은 복잡한 작업을 수행 할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 2 단계 공정 챔버를 포함하며, 처리 중에 정확한 온도, 압력 및 솔루션 혼합물을 적용 할 수 있습니다. 이 자산에는 부상 가능성을 줄이기 위한 리어 인터록 (Rear Interlock) 모델과 같은 안전 기능 (Safety Features) 과 작업 테이블에서 폐기물 입자를 제거하는 통합 진공 장비 (Integrated Vacuum Equipment) 도 포함됩니다. 또한 강력한 제어 장치 (Control Unit) 를 통해 사용자에게 실시간 프로세스 모니터링 및 조정 가능한 매개변수를 제공합니다. DISCO RS-03-2-2/4P는 표면 거칠기 인 Ra0.01 "m 이하와 표면 평탄도 0.001" m 이하를 달성 할 수 있으며, 다양한 용도로 고품질 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 사용자에게 정확한 프로세스 제어를 제공하는 정밀 제어 도구를 갖추고 있습니다. 이러한 기능을 통해 RS-03-2-2/4P는 완벽한 평평함과 완벽한 박막 기판을 생산하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다.