판매용 중고 DISCO DGP 8761 #9092589
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판매
ID: 9092589
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2012
Automatic Grinder / polisher, 6"
Process: Sapphire
Machine standards:
(4) Chuck table configuration
(3) Spindle Configuration
Z3 Spindle Configured for dry polishing
2.4mm Height Gauge
6" Chuck table
Cassette to cassette operation
Incorporated wash station
Uninterruptible Power Supply included
No transformer included
Included Options:
Auto setup
DTU1531 Temperature control unit (No Transformer included)
(4) Wheels and/or dry polishing pads
3" wafer compatibility
Special Options:
3.0mm Height Gauge modification
Endpoint detection software
Approx. (60) used 12" spindles
Operational and maintenance manuals
Currently installed in a fab
2012 vintage.
DISCO DGP 8761은 광범위한 재료를 처리하도록 설계된 다목적 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 장치 생산, MEMS 제조, 나노 기술 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 조정 가능한 속도를 가진 정밀 스핀들을 기반으로합니다. 직경 50mm ~ 350mm 사이의 샘플을 포함하여 다양한 웨이퍼 크기의 그라인딩 및 랩핑을 허용합니다. 스핀들의 회전 속도를 0 ~ 9500 rpm에서 조정하여 정확하고 균일 한 결과를 얻을 수 있습니다. 더 세밀한 제어를 위해 속도를 소량 조정할 수도 있습니다. 또한, 이 단위는 여러 개의 그라인딩 휠 (grinding wheel) 과 함께 사용될 수 있으며, 다양한 절단 공정을 가능하게합니다. "디스코 'DGP8761 의 독특 한 특징 은 공기" 댐퍼' 로서 진동 을 감소 시키고 부드러운 연삭 과 "랩핑 '과정 을 유지 하는 데 도움 이 된다. 이를 통해 고품질 최종 제품을 제공하면서 고장, 고장, 고장 등의 위험을 줄일 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 기계 에는 연삭 과 "랩핑 '과정 에서 생성 되는 먼지 와 입자 를 제거 하기 위한 진공 장치 가 장착 되어 있다. 이 도구는 또한 다양한 랩핑 프로세스를 허용하는 이중면 (dual-side) 에셋을 제공합니다. 여기에는 거친 랩핑과 미세한 랩핑에 모두 사용할 수있는 2 개의 랩핑 플레이트가 포함됩니다. 사용자는 랩핑 (lapping) 플레이트 사이의 간격을 쉽게 조정하여 랩핑 프로세스를 미세하게 제어할 수 있습니다. 이 기능은 모델이 다른 두께의 웨이퍼 생산에 적합하게 만듭니다. 장비에는 고급 모니터 및 제어 장치도 포함됩니다. 이를 통해 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 면밀히 모니터링 할 수 있습니다. 사용자는 스핀들 속도 (spindle speed), 공기 댐퍼 압력 (air damper pressure), 랩핑 플레이트 간격 (lapping plate gap) 등의 설정을 쉽게 조정하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 마지막으로, 시스템은 낮은 유지 관리 작업을 위해 설계되었습니다. 깨끗하고 유지 관리하기 쉬운 내구성 있는 구성 요소가 있습니다. 이것은 공장, 실험실, 연구소 등 다양한 환경에 적합한 옵션입니다. 전체적으로, DGP 8761은 정확한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마를위한 고급적이고 신뢰할 수있는 장치입니다. 다양한 프로젝트 (project) 를 제작하는 데 적합하며, 유지 보수가 적은 설계로 사용 및 유지 보수가 용이합니다.
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