판매용 중고 DISCO DGP 8761 #293629542
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DISCO DGP 8761은 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 자동 방식으로 2 "~ 8" 크기의 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. DISCO DGP8761 은 고객 요구 사항에 맞게 다양한 프로세스를 수행할 수 있는 멀티 스테이지 유닛입니다. 기계는 다이아몬드 그라인딩 휠을 사용하여 웨이퍼 그라인딩 프로세스를 수행합니다. 이 과정 은 광대역 진동 을 통해 도움 을 받아 "그라인딩 휠 '을 연속적 으로 진동 시킨다. 이는 웨이퍼의 모든 서피스가 반올림되거나, 레벨링되지 않도록 하기 위한 것입니다. 결과 표면은 평탄성과 견고성 모두에서 우수합니다. 랩핑 (Lapping) 은 웨이퍼를 더 높은 수준의 평평함으로 만들기 위해 사용됩니다. 이 과정 은 "와퍼 '가 고무" 패드' 에 접합 되어 소용돌이 치는 행동 으로 회전 되는 "슬러리 탱크 '에서 행해진다. 이 공정 은 "탱크 '바닥 에 있는" 실리콘 산화물' 슬러리 를 이용 하여 "웨이퍼 '표면 을 매끄럽게 한다. 그 결과, 연마 할 준비 가 된 평평 하고 매끄러운 표면 이 된다. 이 도구는 연마 패드 아래의 펠티어 (Peltier) 냉각 자산을 사용하여 뛰어난 연마 성능을 제공합니다. 이렇게 하면 연마 접촉 릴리프 (Contact Relief) 가 극도로 낮아져서 치수적 정확도가 높고 표면 마무리가 뛰어납니다. 또한, "웨이퍼 '가 과정 중 에 변형 되지 않도록 연마 압력 을 조절 할 수 있다. 또한, 특정 프로세스를 자동화하여 모델에 통합하여 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 제어 소프트웨어 (Control Software) 는 장비의 유연한 프로그래밍을 가능하게 하며, 쉽게 인터페이스를 사용하여 작업을 관리하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 여러 작업을 하나의 프로세스로 통합하여 운영 프로세스의 효율성을 높일 수 있습니다 (영문). 결론적으로 DGP 8761은 전문 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 정교한 자동화 및 방대한 프로세스 기능을 활용하여 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 다단계 장치 (multi-stage unit) 는 웨이퍼의 모든 서피스가 전문적인 방식으로 처리되도록 설계되었습니다.
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