판매용 중고 DISCO DGP 8761 + DFM 2800 #9401990
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DISCO DGP 8761 + DFM 2800 '웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마' 장비는 현대 반도체 생산을위한 고도의 자동 생산 솔루션입니다. 다양한 에지 (edge) 구성과 웨이퍼 크기에 대해 고품질, 신뢰성, 반복 가능하며 결함이 없는 서피스 마무리를 제공합니다. DISCO DGP 8761/DFM 2800 시스템은 DISCO "액트 온" 포트폴리오의 최신 기술을 사용하여 탁월한 성능을 제공합니다. 6 축 (6 축) 로봇 암, 통합 열 프로세스 제어 및 고급 통계 프로세스 제어가 장착되어 프로세스 반복 성과 일관성을 보장합니다. 이 장치는 맨손과 완전히 포장 된 웨이퍼, 직경 최대 12 인치, 두께 최대 0.6mm (매우 정확하고 균일 한 연삭, 랩핑 및 연마 기능) 를 모두 처리 할 수 있습니다. 기계의 로봇 암 (robotic arm) 은 모서리를 포함하여 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면을 덮는 다양한 동작을 제공합니다. 이렇게 하면 가공소재의 모든 면에서 일관된 마무리가 보장됩니다. 또한 단일 주기로 최대 12 개의 연삭, 랩핑 및 연마 단계를 수행 할 수 있습니다. 암은 본질적으로 안전하며, 정확한 위치 및 정렬을 위해 고급 비전 (advanced vision) 시스템을 갖추고 있습니다. DGP 8761 + DFM 2800의 열 제어 도구 (thermal control tool) 는 로봇 암과 밀접하게 통합되어 프로세스 중 온도를 유지하고 모니터링합니다. 이는 전체 웨이퍼에 걸쳐 일관된 처리 조건으로, 균일 한 프로세스를 보장합니다. 마지막으로, DGP 8761/DFM 2800 자산에는 처리 매개변수 및 데이터 분석에 대한 실시간 모니터링을 제공하는 고급 통계 프로세스 제어가 장착되어 있습니다. 이를 통해 프로세스 매개변수를 정밀하게 튜닝하여 최적의 프로세스 생산성 (process productivity) 및 수율 (revield) 을 보장할 수 있습니다. DISCO DGP 8761 + DFM 2800 '웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마' 모델은 현대 반도체 생산을위한 강력하고 자동화 된 생산 솔루션입니다. 최신 기술을 사용하여 반복성과 일관성을 보장하는 매우 정확하고 균일 한 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 마감을 제공하도록 설계되었습니다. 통합 로봇 암 (Robotic Arm) 및 열 제어 시스템 (Thermal Control System) 은 최고 수준의 표면 마무리를 보장하고 고급 통계 프로세스 제어는 최적의 프로세스 생산성 및 수율을 보장합니다.
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