판매용 중고 DISCO DGP 8760 + DFM 2700 #293633785
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ID: 293633785
Wafer back grinder
Load port
Robot
Chuck table
Spindle
(2) Transfer arms
Spinner
Position
Chuck table washing
Vacuum pump
Polish residue collector
UPS
Transformer
DTU
DFM2700:
Load port
Robot
Inspection table
UV Table
Alignment table
Wafer transfer table
(2) Wafer transfer arms
Dicing tape attachment table
Dicing tape feeder
Batch cutting
Workpiece transfer arm
Protection tape peeling
Workpiece unloading
Unloader
Vacuum pump
2006 vintage.
DISCO DGP 8760 + DFM 2700은 폴리 실리콘, 쿼츠 및 갈륨 비소를 포함한 다양한 웨이퍼 유형을 연마하는 데 이상적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 특히 도량형 및 MEMS 업계에서 가장 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 정확하고 정확한 박막 증착 (thin film deposition) 을 보장하도록 설계되었습니다. 디스코 DGP 8760 (DISCO DGP 8760) 은 고정밀 분쇄 스핀들 (spindle) 을 통합하여 정확한 재연을 가능하게 하는 반면, DFM 2700은 디지털 힘 센서를 사용하여 분쇄력을 측정하고 제어하여 뛰어난 웨이퍼 표면 품질을 보장합니다. 또한, 두 시스템 모두 웨이퍼 처리를 위해 정확한 샘플 정렬을 위해 독립적으로 조정 가능한 관절 암 가이드 (articulating arm guide) 를 갖추고 있습니다. DGP 8760 그라인더에는 스핀들 (spindle) 의 작동 조건을 모니터링하고 프로그래밍 가능한 매개변수 및 설정에 따라 압력을 조정하는 제어 장치 (Control Unit) 가 장착되어 있습니다. "래핑 '과 연마 과정 은 고립 된 공기 플러싱 (flushing) 과 고속 공압 연마" 제트' (pneumatic polishing jet) 에 의해 더욱 강화 되어, 공정 의 정확성 을 손상 시키지 않고 가장 훌륭 한 표면 마무리 를 보장 한다. 전체적으로이 시스템은 다양한 그라인딩, 랩핑 및 연마 응용 프로그램이있는 최첨단 장비를 제공합니다. 자동화된 프로세스는 웨이퍼 처리의 반복성과 정확성을 보장합니다. 또한, 개방형 아키텍처와 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 맞춤형 프로세스와 애플리케이션을 유연하게 구축할 수 있습니다. 이 장치 에는 또한 적절 한 관리 와 유지 가 필수적 이며, 이 장치 에는 "척 '의 압력," 지그', 바퀴 및 "스핀들 '을 매일 점검 하는 것 이 포함 된다. 작업 (work) 영역에서 느슨한 조각을 정기적으로 점검하고 잔류 소재를 청소해야 최적의 성능을 얻을 수 있습니다. 요약하자면, DISCO DGP 8760/DFM 2700 기계는 웨이퍼 연삭, 랩 및 연마 프로세스를위한 턴키 솔루션을 나타냅니다. 여기에는 정밀 장치 (precision instruments) 와 고급 기능 (advanced features) 이 포함되어 있어 다양한 어플리케이션에서 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.
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