판매용 중고 DISCO DFS 8910 #9284016

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ID: 9284016
빈티지: 2005
Surface planer 2005 vintage.
DISCO DFS 8910은 다용도 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 정밀도 및 정확도가 높은 단면 머시닝 및 양면 머시닝을 제공합니다. DISCO DFS8910은 광범위한 기능을 갖춘 대규모 웨이퍼 그라인더, 래퍼 및 광택제입니다. 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족시켜 안정적이고 정밀한 프로세스 (stable and precise process) 를 구현하도록 설계되었습니다. 이 기계는 고급 자동 제어 시스템 (Automated Control System) 으로 제작되어 정확성과 운영 일관성이 향상되었습니다. 이 기계는 견고한 프레임으로 제작되었으며, 이 프레임은 거친 산업 환경에서 신뢰성을 보장하는 대형 강철 (heavy-duty steel) 을 사용하여 제작되었습니다. 이 기계에는 연삭, 랩핑 및 연마 스테이션의 4 개의 스테이션이 있습니다. 그라인딩 스테이션 (grinding station) 에는 원형 그라인딩 휠이 장착되어 있으며, 둥근 웨이퍼의 둘레를 따라 회전합니다. 이 스테이션은 웨이퍼 서피스에서 표면 불완전성과 불규칙성을 제거합니다. 랩핑 스테이션에는 에머리, 랩핑 필름 및 다이아몬드 랩핑 휠이 장착되어 있습니다. 이 스테이션은 웨이퍼에서 미세한 서피스 피쳐를 제거합니다. 연마 스테이션에는 Honing 디스크와 수지 다이아몬드 연마 휠이 장착되어 있습니다. 이 스테이션은 웨이퍼 연마 과정을 완료하여 고도로 연마되고 결함이없는 웨이퍼를 얻습니다. 전송 시스템은 DFS 8910에서 향상되었습니다. 진공 운송 장치로 구성되어 정확한 웨이퍼 처리가 가능합니다. "웨이퍼 '는 수송 중 에 진공 진공 에 의해 고정 되며, 외부 의 힘 이나 충격 으로 인한 손상 을 방지 한다. 기계 설계는 또한 웨이퍼를 가로 질러 균형 잡힌 힘을 보장하여 일관된 웨이퍼 마무리 (wafer finish) 를 제공합니다. 이 기계는 웨이퍼 머시닝 (wafer machining) 공정에서 정밀성과 반복성을 보장하는 고급 제어 기계를 갖추고 있습니다. 수치 오류는 최소화되고, 프로세스 변수는 일관성을 위해 면밀히 모니터링되고 모니터링됩니다. 이 기계 에는 더 높은 정확도 를 위한 광학 현미경 이 장착 되어 있는데, 이것 은 "웨이퍼 '처리 의 표면 거칠기 와 반복성 을 더욱 향상 시켜 준다. 전반적으로 DFS8910은 대규모의 산업용 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 공구로, 단면 머시닝 및 양면 머시닝을 제공하며, 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. 기계의 고급 제어 자산은 일관되고 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 견고한 프레임은 거친 산업 환경에서 안정성과 내구성을 보장하며, 운송 모델은 가공하는 동안 웨이퍼 (wafer) 를 고정하고 균등하게 분산시킵니다.
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