판매용 중고 DISCO DFP 8140 #9281537
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DISCO DFP 8140 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비는 다양한 기판에서 고급 평면 및 계단 표면을 생성 할 수있는 고급 마이크로 패브레이션 장비입니다. 이 기계는 두 개의 개별 그라인딩 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 단계 (polishing stage) 와 여러 추가 피쳐를 사용하여 고품질 서피스를 생성합니다. 이 시스템은 회전 테이블, 공구 스테이션, 랩핑/연마 플레이트 및 모터로 구성됩니다. 회전 테이블에는 닫힌 루프 서보 (closed-loop servo) 장치가 포함되어 있어 속도 제어가 정확하므로 매번 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 테이블 위에 위치한 공구 스테이션에는 연삭, 랩핑 및 연마 도구가 있습니다. 조정 가능한 압력 및 속도 제어 (speed control) 와 결합된 이러한 도구는 다양한 복잡성의 표면을 생성하는 기능을 제공합니다. 랩핑/연마 플레이트 (lapping/polishing plate) 는 수정 된 서피스 플레이트로, 연마식 슬러리를 적용할 수 있습니다. 그런 다음, 이 슬러리 (slurry) 를 사용하여 처리되는 기판을 원하는 마무리 품질로 랩하고 닦을 수 있습니다. 기계의 모터는 AC 서보 모터이며, 분당 최대 2000 회전이 가능하며, 속도는 0.01 RPM 이내입니다. 이 모터는 닫힌 루프 도구 (closed-loop tool) 에 의해 제어되며, 이 도구를 사용하여 사용자가 처리 중 임의의 시점에서 기계의 속도를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 자산에 많은 추가 도구가 포함되어 있으므로 표면 처리의 자유도 증가 (freedom in surface processing) 합니다. 여기에는 그루빙 도구, 슬러리 제트 청소, 다이아몬드 화합물, 연마 패드 등이 포함됩니다. 합쳐서, DISCO DFP8140 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 모델은 고급 평면 및 계단 표면 생산을위한 포괄적 인 마이크로 구성 환경을 제공합니다. 로터리 테이블 (rotary table), 공구 스테이션 (tool station), 랩핑/연마 플레이트 (lapping/polishing plate) 및 모터 (motor) 의 조합은 다양한 추가 공구와 함께 수행되는 서피스 처리 작업에 대한 사용자의 최대 제어를 제공합니다. 높은 속도 제어를 통해, DFP 8140은 정확한 반복성으로 고품질 표면을 만듭니다.
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