판매용 중고 DISCO DFP 8140 #293622677
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DISCO DFP 8140은 광범위한 반도체 기판을 처리하는 데 사용될 수있는 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 가장 일관된 표면 품질을 얻기 위해 반도체 기판의 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 에 가장 높은 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. DISCO DFP8140은 여러 웨이퍼를 동시에 갈고, 랩하고, 닦을 수있는 완전 자동화 시스템입니다. 이 기계는 고급 웨이퍼 그라인딩 장치 (advanced wafer grinding unit) 와 매우 신뢰할 수있는 랩핑/연마 장치를 사용하여 뛰어난 표면 무결성과 최소 스크래치로 기판을 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼는 사용하기 쉬운 카세트-카세트 (cassette-to-cassette) 환경에서 도구에서 로드되고 언로드됩니다. 이 자산은 실리콘 (silicon), 유리 (glass), 쿼츠 (quartz) 를 포함한 광범위한 웨이퍼 기판으로 작동하도록 설계되었으며 다양한 종류의 랩핑 필름과 함께 사용할 수 있습니다. 이 모델은 또한 연삭 (grinding), 랩핑 (lapping) 및 연마 프로세스 전후에 각 웨이퍼의 철저한 청소 및 건조를 제공하여 최적의 결과를 보장합니다. 이 장비 에는 자동화 된 "랩핑 '과 연마 과정 이 있는데, 이 과정 은 독특 한" 슬라이딩' 동작 을 사용 하여 "웨이퍼 '의 표면 에" 랩핑' 화합물 을 적용 하여 제거 하고, "로봇 '암 은" 랩핑' 머리 를 안내하여 "웨이퍼 '의 표면 을 균일 한 방법 으로 랩핑 한다. 이 제품은 견고하고 정확한 자동 교정 기능으로 설계되었으며, 이를 통해 최적의 결과를 위해 연삭, 랩핑, 연마 조건을 지속적으로 조정할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 고효율의 교체 부품 관리 시스템 (Part Management Machine) 을 갖추고 있어, 마모된 부품을 교체할 교체 부품을 자동으로 디스패치하여 수작업으로 작업할 필요가 없습니다. 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 전체 프로세스 (부품 교체, 매개변수 제어) 를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 툴은 향후 프로세스 개발 및 프로세스 최적화에 사용될 수 있는 상세한 프로세스 로그 (process-log) 정보를 생성하도록 설계되었습니다. DFP 8140 은 첨단 기술 기능을 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 기판에 빠르고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있는 연삭, 랩핑 및 연마 성능을 제공합니다. 최고 수준의 정밀도, 정확도, 표면 품질 (surface quality) 을 필요로 하는 어플리케이션에 적합한 선택입니다.
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