판매용 중고 DISCO DFM 2800 / DGP 8761 #9277917
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ID: 9277917
빈티지: 2012
System
Thin processing below: 25 μm
Diamond grinding wheel Z1, Z2 axis: φ300 mm
Dry polishing wheel Z3 axis: φ450 mm
8" & 12" Common kit included
2012 vintage.
DISCO DFM 2800/DGP 8761은 단일 통합 플랫폼으로 정밀 웨이퍼를 제조 할 수있는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 와퍼를 연마, 랩핑, 연마하기 위한 탁월한 수준의 성능, 정확성, 반복성을 제공합니다. 이 장치는 3 단계 연삭/랩핑 프로세스를 사용하여 전기, 광학 및 마이크로 기계 부품에 적합한 매우 정확한 표면을 생성합니다. 이 공정의 첫 번째 단계는 연마제 (marrasive material) 로 코팅 된 그라인딩 휠 (grinding wheel) 입니다. 그 후, 회전 플라텐을 사용하여 버프 (burr) 나 표면 불규칙성을 제거하기 위해 웨이퍼 (wafer) 를 2 초 동안 랩핑합니다. 마지막 단계 는 부드럽고 반짝이는 "피니시 '를 만들기 위해 특별 히 설계 된 연마" 블록' 을 사용 한다. DFM 2800 은 운영 업체가 프로세스 매개변수 (parameter) 를 빠르고 쉽게 설정하고 운영 프로세스를 모니터링할 수 있도록 기본 제공되는 자동 그라인딩 및 랩핑 (grinding and lapping) 프로세스를 갖추고 있습니다. 이 기계 에는 또한 "웨이퍼 '에 부정확성 혹은 결함 을 감지 할 수 있는 시력 도구 가 들어 있다. 또한 스핀들 (spindle) 의 속도, 이동, 전력 사용량을 정확하게 모니터링할 수 있어 자산의 정확성과 반복성이 더욱 향상됩니다. DGP 8761 (DGP 8761) 에는 프로세스의 정확성과 반복성을 더욱 향상시키는 몇 가지 독점 기술이 포함되어 있습니다. 독점 그라인딩 휠 (grinding wheel) 디자인을 활용하여 마모를 최소화하고 그리트 제거를 개선하고 프로세스 정확성을 향상시킵니다. 이 모델에는 또한 독특한 피치 제어 연마 휠 (pitch-controlled polishing wheel) 디자인이 포함되어 있어 매우 정확하고 일관된 표면과 모서리를 생산할 수 있습니다. DFM 2800/DGP 8761은 극도의 정확성과 정확성이 필요한 웨이퍼 기판을 제작하는 데 이상적인 솔루션입니다. 이 장비는 품질 관리 (Quality Control) 및 반복 (Repeatability) 수준을 높임으로써 웨이퍼 (Wafer) 생산으로 인한 일관되고 안정적인 결과를 보장하는 핵심 요소입니다.
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