판매용 중고 DISCO DFG 8760 #293616886
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DISCO DISCO DFG 8760은 이중 스핀 디스크 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 대구경 웨이퍼에서 높은 수준의 표면 평면도 및 병렬화를 달성하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼, 평면 패널, 디스크 드라이브 업계에서 사용하기에 적합하며, 대형 웨이퍼 기판에서 정밀 수준의 머시닝 (machining) 및 연마 (polishing) 를 제공합니다. DFG 8760은 스핀 디스크 그라인딩과 연마 두 가지 기술로 구성됩니다. 스핀 디스크 그라인딩 (spin-disk grinding) 기술은 연마 디스크와 회전 가공소재를 사용하여 연삭 표면을 생성합니다. 연마 기술은 화학적, 기계적 작용을 결합하여 기질 표면을 갈고, 랩하고, 연마합니다. DISCO DFG 8760 의 주요 기능은 이중 스핀 디스크 장치 (spin-disk unit) 로, 더 쉬운 웨이퍼 처리와 더 빠른 프로세스 시간을 지원합니다. 머신은 2 개의 스핀 디스크 (spin-disk) 로 구성되며, 각각 별도의 챔버에 설치되며, 동시에 2 개의 다른 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이중 스핀 디스크 방식은 프로세스 시간을 줄이고 운영 효율성을 최적화합니다. 또한 DFG 8760 은 단일 포인트 포스 컨트롤러 (single-point force controller) 를 통해 웨이퍼 두 표면에 일관된 압력을 동시에 적용합니다. 이 기능은 균일하고 반복 가능한 표면 마무리 (surface finish) 와 전체 웨이퍼에 걸쳐 정확한 그라인딩을 보장합니다. "디스코 'DFG 8760 의 독특 한 설계 는 다른" 시스템' 에 비해 여러 가지 장점 을 지니고 있는데, 한 도구 에서 연삭, "랩핑 ', 연마 를 포함 하여 광범위 한 기계 작업 을 수행 할 수 있다. 또한 프로세스 속도 및 정확성을 향상시키는 자동화된 로드/언로드 에셋 (loading/unloading asset) 과 필요에 따라 머시닝의 압력을 변경하는 수동 조정 기능을 제공합니다. 또한 DISCO Corporation 은 DFG 8760 이 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족할 수 있도록 광범위한 분쇄, 랩 처리, 마모제 연마 기능을 제공합니다. 모든 연마제는 최적의 표면 마무리와 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. DISCO DFG 8760 은 반도체, 평면 패널, 디스크 드라이브 산업의 요구를 충족하도록 설계된 강력하고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 머신입니다. 최첨단 기능은 대형 웨이퍼 기판에서 최적의 서피스 평면도 (surface flatness) 와 병렬 처리 (parallelism) 를 달성하는 데 매우 효율적인 모델입니다.
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