판매용 중고 DISCO DFG 8540 #9145552

DISCO DFG 8540은 백엔드 반도체 장치 제조 공정에서 반도체 웨이퍼 처리에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 최신 그라인딩 (grinding) 과 연마 (polishing) 기술을 결합하여 뛰어난 웨이퍼 표면 거칠기, 평평함 및 균일성을 제공합니다. 이 기계는 실리콘 및 화합물 반도체 재료의 효율적이고 정확한 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. DISCO DFG8540에는 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 정확하게 제어하기 위해 고급 서보 제어 유닛이있는 독특한 그라인딩/랩핑/연마 테이블이 있습니다. 최고의 생산성을 제공하는 강력한 다중 연삭/랩/연마 헤드 구조를 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 (wafer) 크기와 표면 거칠기 (surface roughness) 요구 사항을 수용할 수있는 다양한 첨부 파일을 갖추고 있습니다. DFG 8540 은 자체 진단 및 자동 웨이퍼 교환 (automatic wafer exchange) 기능뿐만 아니라 탐지 정확도 및 반복 가능성이 높습니다. 이 툴의 소프트웨어는 운영자가 고객의 구체적인 요구에 맞도록 매개변수를 설정하고 사용자 정의할 수 있도록 설계되었습니다 (영문). 또한 자동 조정 에셋 (auto tuning asset) 을 제공하여 자동으로 매개변수를 조정하여 모델의 최적의 작동을 유지할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 그 장비 는 "웨이퍼 '표면 의 균일성 을 향상 시키는 데 사용 할 수 있는" 랩핑' 유체 를 넓게 선택 하고 있다. 이 시스템에는 또한 오염 제어 장치 (contamination control unit) 가 통합되어 있어 랩핑/연마 과정에서 웨이퍼가 먼지 및 기타 입자에서 벗어날 수 있습니다. 또한 "웨이퍼 '를 적재, 언로드 할 수 있는 융통성 있는 기계 가 있어서" 웨이퍼' 를 쉽고 정확 하게 적재 및 언로드 할 수 있다. 또한 DFG8540에는 다양한 액세서리가 장착되어 있어 안전성과 효율성이 더욱 향상됩니다. 여기에는 안전 경비원 (Safety Guard), 보호 덮개, 배기 가스 필터링 도구, 비상 정지 스위치를 사용할 때 자동으로 자산을 차단할 수있는 안전 장치 (Safety Unit) 가 포함됩니다. 결론적으로, DISCO DFG 8540은 강력하고 다목적 인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델로, 반도체 웨이퍼를 가장 높은 표면 거칠기, 편평도 및 균일성으로 정확하고 빠르게 처리 할 수 있습니다. 고급 서보 제어 장비와 유연한 로드/언로드 기능을 통해 뛰어난 작동 편의성을 제공합니다. "와퍼 '는 공정 중 에 오염 되지 않도록 통합 된 오염 조절 장치 이며, 그" 액세서리' 들 은 부가적 인 안전 과 효율성 을 제공 한다.