판매용 중고 DISCO DFG 8540 #9138237
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ID: 9138237
Wafer back grinder
Workpiece : Silicon wafer
Sample wafer provision : with (200mm)
Wafer thickness :
o 8"mm wafer
Thickness after processing : 100um, 200um,150um
o 6" wafer
Thickness after processing : < =300um
Protective tape
Wheel selection (for Z1:fine grinding) : BT 300
Wheel selection (self-grinding) : Disco suggestion
Dresser board :
Z1 wheel : Part no : DISCO
Z2 wheel : Part no : DISCO
Default cassette setting : Open flow (transfer to opposite cassette)
Stage A:
8" A192-80M
8" double slot cassette
sample of cassette
Stage B:
8" A192-80M
8" double slot cassette
sample of cassette
Adjustable cassette setting 1:
open flow(transfer to opposite cassette)
Stage A:
6" A194-60MB
6" double slot cassette
Sample of cassette
Stage B:
6" A194-60MB
6" double slot cassette
sample of cassette
Default display language : English
Z1
Height gauge stroke : 1.8mm(max.)
Z2
Height gauge stroke : 1.8mm(max.)
Power voltage
Power frequency : 60Hz
Attached hose : 5M
Safty lables : English
Paint color:
Cream
Standard color (munsell#2.5GY8.0/0.5)
Black
Standard color munsell#N 2.4
Manuals:
First set : English (for standard specification)
Second set : English (for standard specification)
Transport parts :
6" to 8"
Optional accessories (included with shipment) : 8" dedicated transport parts
Optional accessories (Thin grinding specification) : 6" decicated, 8" dedicated
Chuck table : Universal (4" to 8")
Wafer size selection for universal chuck table: 5",6",8"
Double slot cassette for thinly ground waters :
6" dedicated double slot cassette
8" dedicated double slot cassette
Lifting jig set
Power cable for main unit : with (5m/transformer for main unit is used)
Site-side piping joints : Including water temperature control unit (DTU152)
Automatic setup function
Transformer for main unit CM:with (voltage: 220 V)
Water temperature control unit (DTU152) : with (English manual attached)
Transformer for water temperature control unit : with (voltage :220 V)
Power cable for water temperature control unit: with (5m/transformer for DTU152 is used)
Duct unit
Uniterruptible power supply unit
Vaccum maintance function
Equip 8" & 6" wf thin grinding necessary parts
8" wf parts with shipment for main product
Capacity : 5 m3/min
2010 vintage.
디스코 DFG 8540 (DISCO DFG 8540) 은 반도체 및 광학 산업의 최대 요구 사항을 충족하도록 설계된 컴팩트하고 기능적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 견고한 시스템은 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 갖추고 있으며, 0.1um까지 정밀도를 달성하여 나노 기술을 위한 완벽한 도구입니다. 이 장치의 주요 구성 요소에는 연삭 및 연마 헤드, 연삭 플레이트 (grinding plate) 및 본체 프레임 (main body frame) 이 포함됩니다. 그라인딩 헤드는 AccuForce-I 그라인딩 드라이브 모터로 구동되며 최대 속도 (12,000 rpm) 로 회전 할 수 있습니다. 그라인딩 플레이트에는 다이렉트 드라이브 모터 (direct-drive motor) 가 장착되어 있으며 최대 0.1um까지 반복 가능한 정확도를 위해 최대 10,000 rpm의 속도로 회전 할 수 있습니다. 기본 바디 프레임 (Main Body Frame) 은 모든 컴포넌트를 단단히 조합하도록 설계되었으며, 모든 머신 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있는 통합 제어판 (Integrated Control Panel) 을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 신호 제어 소프트웨어 패키지 (signal control software package) 가 장착되어 있어 자산을 쉽게 작동시키고 연삭 (grinding) 및 연마 (polishing) 프로세스를 실시간으로 제어할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 갖추고 실시간으로 연삭 및 연마 상태를 표시합니다. 후자는 전체 프로세스를 쉽게 모니터링하고 고품질의 결과를 유지합니다. 이 모델은 또한 고객 데이터를 저장, 전송할 수 있으며, 협업 프로젝트에 이상적인 툴입니다. 마지막으로, 디스코 DFG8540 (DISCO DFG8540) 에는 연삭 및 연마 헤드 용 듀얼 레이어 보호 주택과 무단 인력이 장비에 접근하지 못하도록 안전 도어 (Safety Door) 를 포함한 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 정확성 및 신뢰성과 결합 될 때 DFG 8540을 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 응용 프로그램을위한 신뢰할 수있는 도구로 만듭니다.
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