판매용 중고 DISCO DFG 841 #9208229

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ID: 9208229
빈티지: 1997
Wafer grinder DVC010c Vacuum pump MT 3080 Power unit Robot 1997 vintage.
DISCO DFG 841은 실리콘, 갈륨 비소, 사파이어 및 기타 재료를위한 모듈 식 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비입니다. 고도로 자동화되고 정교한 이 머신은 일정한 수준의 고품질 (High Quality) 을 유지하면서 반도체 생산에서 소유자 비용 절감 효과를 제공합니다. 시스템은 다른 직경의 단면 (single side) 및 양면 (double side) 웨이퍼를 그라인드, 랩 및 폴란드화하는 데 사용될 수 있습니다. 정밀도 가 높으면, 이 장치 는 수 초 내 에 우월 한 소형 "웨이퍼 '를 생산 할 수 있다. Discop DISCO DFG841은 주요 연삭, 랩핑 및 연마 시스템을 보유한 주요 주택으로 구성되어 있습니다. 시스템은 부드럽고 조용한 작동을 위해 직류 (direct current) 모터로 구동됩니다. 모터와 동반 모터도 자율 작동이 가능합니다. 정밀하게 마무리하기 위해 기계에는 소형 웨이퍼 불완전성을 감지하는 간단한 2축 게이지 (simple 2-axis gauge), 평면을 측정하는 프로파일로미터 (profilometer) 및 크기 측정을위한 스텝 게이지 (step gauge) 와 같은 일련의 측정 도구가 장착되어 있습니다. 공구의 그라인딩 헤드 (grinding head) 에는 정확하고 효율적인 그라인딩 공정을 위해 무거운 다이아몬드 그라인딩 휠이 장착되어 있습니다. 조정 가능한 바퀴는 웨이퍼 (wafer) 표면에 연마 효과를 제공하여 높은 수준의 정확도를 보장 할 수 있습니다. 에셋의 랩핑 헤드 (lapping head) 에는 여러 용량이 있어 웨이퍼를 공동 평면화 및 플랫 할 수 있습니다. 마지막으로, 연마 헤드 (polishing head) 는 조정 가능한 속도로 일련의 독립적 인 머리를 사용하여 웨이퍼에 우수한 광택을 제공합니다. 또한, 또는 모델에는 효율적인 냉각을 위해 분리 가능한 여과 시스템이있는 재순환 냉각제 장비를 사용하는 냉각수 제어 장치 (coolant control unit) 가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 갈기, 랩핑, 연마 시 "웨이퍼 '가 열 손상 을 입지 않게 된다. 또한 DFG 841 은 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 방호용 커버와 인클로저 차폐 (enclosure shielding) 기능을 통해 핫 (hot) 부품 및 유해 물질과의 우발적 접촉을 방지합니다. 전원이 정전 된 경우에도 안전을 보장하기 위해, 이 장치에는 금속 비상 정지 (Emergency Stop) 스위치도 장착되어 있습니다. DFG841 의 현대화 (Modernized) 설계는 수작업 (Manual Labor) 의 필요성을 없애고 보다 효율적인 생산 프로세스를 통해 낮은 소유 비용을 창출합니다. 이렇게 하면 "사이클 '시간 이 개선 된" 실리콘 웨이퍼' 의 질, 정밀도 및 균일성 이 향상 된다.
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