판매용 중고 DISCO DFG 841 #9155028
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ID: 9155028
빈티지: 1997
Grinder
(2) Cassettes running (2) substrates simultaneously
DVC010 Vacuum cooling unit
(2) Spindles
Table type: Porous chuck table
Chuck method: Vacuum
Grinding wheel: Diamond wheel, 8"
1997 vintage.
DISCO DFG 841은 소규모 생산을 위해 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. 그것 은 "웨이퍼 '를 특정 한 모양 으로," 웨이퍼' 를 "미크론 '수준 의 정확도 로 갈아서 한 단계 로 거울 끝 으로 연마 하는 기능 을 제공 한다. 이 시스템은 다양한 어플리케이션을 만족시킬 수 있는 컴팩트하고 효율적인 설계를 갖추고 있습니다. DISCO DFG841에는 연삭 단계, 연마 단계 및 완성 된 웨이퍼의 랩핑 단계가 포함됩니다. 연삭 단계는 고정밀 턴테이블 (turntable) 및 그라인딩 휠 (grinding wheel) 을 사용하여 정확한 모양과 마무리로 정확한 연삭을 보장합니다. 균일 한 가장자리 프로파일을 보장하기 위해 정확한 각도 조절 (angle regulation) 기술도 사용됩니다. 연마 단계 는 특별 히 설계 된 고무 연삭 "휠 '을 이용 하여" 웨이퍼' 표면 을 더욱 정련 하고 연마 한다. 결합 된 공정으로 인해 추가 연마 재료를 사용하지 않아도 균일 한 표면 거칠기 (surface roughness) 와 거울 마무리 서피스 (mirror finish surface) 가 생성됩니다. 또한 DFG 841은 연마 매개 변수를 자동화하여 일관되고 안정적인 결과를 보장합니다. 마이크로스코프 (microscope) 를 사용하여 프로세스에 대한 실시간 모니터링을 수행할 수 있으므로 프로세스 피드백 (feedback) 을 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 다양한 wafer 크기 및 모양 (예: 비병렬 지형, 깊이 제어, 프로세스 관리) 처리를 지원하는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 전체적으로, DFG841은 정확한 미크론 정확성과 미러 마무리 (mirror finish) 를 위해 효율적이고 비용 효율적인 그라인드, 랩 및 폴링 방법을 제공합니다. 첨단 설계 (Advanced design) 는 반복 가능한 결과를 낼 수 있으며, 다양한 응용 프로그램을 제공하여 다양한 프로덕션 실행에 적합합니다.
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